Мартенс, В. Я. Исследование отражательного разряда с полым катодом при напуске углеводорода [Текст] / В. Я. Мартенс, Е. Ф. Шевченко // Журнал технической физики. - 2010. - Т. 80, N 8. - С. 59-62. - Библиогр.: c. 62 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): отражательные разряды -- углеводороды -- полые катоды -- углеродные покрытия -- электрический пробой -- катодные пятна -- разрядное напряжение -- тлеющие разряды -- дуговые разряды -- источники ионов -- диссоциация молекул -- энергетические спектры ионов -- ионные источники Аннотация: Исследовано изменение параметров отражательного разряда с полым катодом в процессе его непрерывной работы на пропане при потоках газа 1. 3-5. 6 m{3} mPa/s и токах разряда 0. 1-0. 4 A. Показано, что при потоках углеводорода 2. 46 m{3} mPa/s и более через некоторый промежуток времени, зависящий от разрядного тока и давления газа, наблюдается рост разрядного напряжения, что объясняется образованием на электродах разрядной камеры покрытий из продуктов диссоциации молекул углеводорода. Рост со временем углеродных покрытий на катодах и зарядка их ионами приводит к электрическому пробою покрытий и образованию катодных пятен. Осциллограммы разрядного тока и напряжения свидетельствуют о кратковременном переходе тлеющего разряда в дуговой. Измерены энергетические спектры ионов, выходящих из разряда. Исследовано влияние тока разряда и потока газа на величину разброса ионов по энергиям. Определено время работы разряда на углеводороде, по истечении которого необходима очистка разрядной камеры. Сделаны выводы о возможности использования источника ионов на основе отражательного разряда с полым катодом для технологических приложений. Доп.точки доступа: Шевченко, Е. Ф. |
Синтез нанокристаллических пленок диоксида титана в цилиндрическом газовом разряде магнетронного типа и их оптическая характеризация [Текст] / А. А. Гончаров [и др. ] // Журнал технической физики. - 2010. - Т. 80, N 8. - С. 127-135. - Библиогр.: c. 135 (24 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Термодинамика твердых тел Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): нанокристаллические пленки -- диоксид титана -- газовые разряды -- разрядное напряжение -- цилиндрические газовые разряды -- газовые разряды магнетронного типа -- плазма -- спектры излучения плазмы -- синтез пленок -- показатель преломления -- магнетронное распыление Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и спектральных характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа. Спектр излучения плазмы регистрировался в диапазоне 350-820 в режиме реального времени. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiO[2], которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO[2] как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана демонстрируют наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки. Доп.точки доступа: Гончаров, А. А.; Евсюков, А. Н.; Костин, Е. Г.; Стеценко, Б. В.; Фролова, Е. К.; Щуренко, А. И. |