Специфика исследований поверхности диэлектриков методом атомно-силовой микроскопии [Текст] / А. Л. Толстихина [и др. ] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 9. - С. 48-52
УДК
ББК 22.331
Рубрики: Физика
   Электростатика

Кл.слова (ненормированные):
поверхность диэлектриков -- диэлектрики -- атомно-силовая микроскопия -- статическое электричество -- гетерогенная поверхность
Аннотация: В целях повышения точности АСМ-измерений в воздушной среде и улучшения воспроизводимости результатов разработан и сконструирован метрологический комплекс на основе чистого производственного помещения. Основные функции комплекса – обеспечение и поддержание с высокой точностью и в различных сочетаниях температуры и влажности в рабочей зоне. Применительно к диэлектрическим материалам измерения в контролируемых условиях играют особую роль. Показано, что специальные процедуры дают возможность избавиться от искажающего воздействия статического электричества на исследуемой поверхности – снять уже накопленный заряд и предотвратить его появление в ходе эксперимента. Использование предлагаемых процедур позволяет корректно изучать особенности рельефа поверхности диэлектриков на микро- и наноскопическом уровне.


Доп.точки доступа:
Толстихина, А. Л.; Гайнутдинов, Р. В.; Занавескин, М. Л.; Сорокина, К. Л.; Белугина, Н. В.; Грищенко, Ю. В.