Оптические хемосенсорные пленки на основе фотонно-кристаллической опаловой матрицы [Текст] / Д. В. Калинин [и др. ] // Доклады Академии наук. - 2009. - Т. 427, N 6, август. - С. 826-828. - Библиогр.: с. 828 . - ISSN 0869-5652
Рубрики: Геология Геохимия Кл.слова (ненормированные): кремнезем -- наночастицы кремнезема -- опаловые структуры -- мезопористый кремнезем -- хемосенсорные пленки -- оптические пленки -- опаловые матрицы -- фотонно-кристаллические матрицы -- сенсорные пленки Аннотация: Сделан вывод, что фотонно-кристаллические опаловые структуры, как сенсорная матрица, имеют преимущество перед структурированным мезопористым кремнеземом. Доп.точки доступа: Калинин, Д. В.; Сердобинцева, В. В.; Елисеев, А. П.; Соболев, Н. В. |
535 К 887 Кудоярова, В. Х. Исследование состава, структуры и оптических свойств пленок a-Si[1-x]C[x]:H(Er), легированных эрбием из комплексного соединения Er(pd)[3] / В. Х. Кудоярова, В. А. Толмачев, Е. В. Гущина // Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, вып. 3. - С. 353-359 : ил. - Библиогр.: с. 359 (16 назв.) . - ISSN 0015-3222
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): резерфордовское обратное рассеяние -- РОР -- метод резерфордовского обратного рассеяния -- обратное резерфордовское рассеяние -- ОРР -- инфракрасная спектроскопия -- ИК спектроскопия -- метод инфракрасной спектроскопии -- метод эллипсометрических исследований -- эллипсометрические исследования -- метод атомно-силовой микроскопии -- атомно-силовая микроскопия -- комплексные исследования -- аморфные пленки -- состав пленок -- структура пленок -- оптические пленки -- высокочастотное разложение -- смесь газов -- газы -- термическое распыление -- термораспыление -- углерод -- комплексное соединение -- газовые смеси -- оптические зоны -- инфракрасные спектры -- эллипсометрические спектры -- оптические константы -- многометрические модели -- тонкие слои -- окислы кремния -- спектральная эллипсометрия -- оптическое поглощение Аннотация: Методами резерфордовского обратного рассеяния, инфракрасной спектроскопии, эллипсометрических исследований и атомно-силовой микроскопии проведено комплексное исследование состава, структуры и оптических свойств аморфных пленок a-Si[1-x]C[x]: H (Er). Технология получения аморфных пленок a-Si[1-x]C[x]: H (Er) сочетала в себе метод высокочастотного разложения смеси газов (SiH[4]) [a]+ (CH[4]) [b] и одновременное термическое распыление комплексного соединения Er (pd) [3]. Показано, что увеличение CH[4] в составе газовой смеси приводит к увеличению содержания углерода в исследуемых пленках, увеличению ширины оптической зоны E{opt}[g] от 1. 75 до 2. 2 эВ. В инфракрасных спектрах наблюдались изменения состава пленок a-Si[1-x]C[x]: H (Er), которые, в свою очередь, сопровождались изменениями оптических констант. Проведен анализ наблюдаемых эллипсометрических спектров с использованием многопараметрических моделей. В результате проведенного анализа делается вывод о том, что хорошее совпадение экспериментальных и расчетных спектров наблюдается при учете изменяющегося состава аморфных пленок, происходящего при изменении состава газовой смеси. Существование на поверхности исследуемых пленок тонкого (6-8 нм) слоя окисла кремния и справедливость использования двухслоевой модели в расчетах эллиптических измерений подтверждаются проведенными исследованиями структуры методом атомно-силовой микроскопии. Complex study of composition, structure and optical properties of amorphous films of a-Si[1-x]C[x]: H (Er) was performed with means of Rutherford backscattering, IR spectroscopy, ellipsometry and AFM-technology for producing amorphous films of a-Si[1-x]C[x]: H (Er) included the method of high-frequency decomposition of gas mixture of (SiH[4]) [a] + (CH[4]) [b] and simultaneous thermal spraying of a complex compound Er (pd) [3]. It is shown that an increase of CH[4] in the gas mixture leads to an increase in carbon content in the studied films, increasing the width of the optical zone E{opt}[g] from 1. 75 to 2. 2 eV. Changes in the composition of the a-Si[1-x]C[x]: H (Er) films, which in turn were accompanied by changes in the optical constants in the IR spectra were observed. Analysis of the observed ellipsometric spectra using multivariable models was performed. The analysis concludes that good agreement between experimental and calculated spectra is observed, taking into account the changing composition of the amorphous films, which occurs when the gas mixture composition changing. The existence of a thin (6-8 nm) layer of silicon dioxide on the film surface, and justice of 2-layer model in the calculation of ellipsometric measurements are confirmed by the AFM studies. Перейти: http://journals.ioffe.ru/ftp/2013/03/p353-359.pdf Доп.точки доступа: Толмачев, В. А.; Гущина, Е. В. |