Феклисова, О. В. Влияние протяженных дефектов на диффузию золота в пластически деформированном кремнии [Текст] / О. В. Феклисова, Е. Б. Якимов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 8. - С. 45-48
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): плоскости скольжения -- дислокации -- протяженные дефекты -- геттерирующие свойства -- пластически деформированный кремний -- рекомбинационная активность -- диффузия золота Аннотация: В настоящей работе методами нестационарной спектроскопии глубоких уровней (НСГУ) и наведенного электронным пучком тока (НТ) исследовалось влияние дефектов, формирующихся в плоскостях скольжения за дислокациями, на диффузию золота. Обнаружено, что концентрация золота в деформированных образцах на два порядка величины больше, чем в бездефектном кристалле. Оценки показывают, что концентрация электрически активного золота, полученная из данных НСГУ, как минимум в десять раз выше, чем величина, которую можно было ожидать для собственно дислокаций. Из измерений НТ обнаружено сильное возрастание рекомбинационной активности плоскостей скольжения после диффузии Au, что, возможно, связано с проявлением геттерирующих свойств дефектов в плоскостях скольжения. Доп.точки доступа: Якимов, Е. Б. |