Влияние отжига на электрические свойства легированных азотом монокристаллов кремния, выращенных методом бестигельной зонной плавки [Текст] / Г. И. Воронкова [и др. ] // Физика твердого тела. - 2009. - Т. 51, вып: вып. 11. - С. 2128-2134. - Библиогр.: с. 2134 (12 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): отжиг кремния -- легирование азотом -- монокристаллы -- отожженные монокристаллы -- бестигельные зонные плавки -- азотсодержащие центры в кристаллах -- ростовые микродефекты -- примеси азота Аннотация: Излучены электрические свойства отожженных при 680 градусов Цельсия легированных азотом монокристаллов кремния n- и p-типа, полученных методом бестигельной зонной плавки. Показано, что отжиг приводит к появлению в кристаллах азотсодержащих центров, образующих глубокие донорные и акцепторные уровни в запрещенной зоне. Этот процесс сопровождается увеличением удельного сопротивления, особенно существенным в исходно высокоомных монокристаллах. При этом в слаболегированных бором монокристаллах n- и p-типа наблюдается конверсия типа проводимости. В конвертированном материале n-типа подвижность электронов аномально низка, что свидетельствует о его высокой электрической пространственной неоднородности. Определено энергетическое положение вводимого при отжиге глубокого акцепторного уровня вблизи Ec-0. 35 eV. Предложена модель, объясняющая наблюдаемые явления. Доп.точки доступа: Воронкова, Г. И.; Воронков, В. В.; Батунина, А. В.; Головина, В. Н.; Гуляева, А. С.; Тюрина, Н. Б.; Мильвидский, М. Г. |