537.311.33 Б 825 Борисов, И. С. Прецизионное измерение удельного сопротивления кремниевых пластин [Текст] / И. С. Борисов, Б. Л. Гуськов, Ю. А. Концевой // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2008. - Т. 74, N 4. - С. 30-32. - Библиогр.: с. 32 (4 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): кремниевые пластины -- удельное сопротивление -- измерение удельного сопротивления -- четырехзондовый метод -- тест-структуры -- тестовые структуры -- тест-контакты Аннотация: Описан метод прецизионного определения удельного сопротивления кремниевых пластин, основанный на применении специальных тестовых структур, изготовленных при использовании стандартных процессов планарной технологии: окисления, фотолитографии, диффузии и металлизации. Доп.точки доступа: Гуськов, Б. Л.; Концевой, Ю. А. |