Неразрушающие методы контроля нанорельефа поверхности на примере сапфировых подложек [Текст] / В. Е. Асадчиков [и др. ] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2008. - Т. 74, N 10. - С. 21-25. - Библиогр.: с. 25 (11 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): неразрушающие методы контроля -- нанорельеф поверхности -- контроль нанорельефа поверхности -- сапфировые подложки -- шероховатость подложек -- атомно-силовая микроскопия -- рентгеновское рассеяние -- стохастические шероховатые поверхности Аннотация: Исследованы параметры сапфировых подложек методами атомно-силовой микроскопии и рентгеновского рассеяния. Доп.точки доступа: Асадчиков, В. Е.; Буташин, А. В.; Волков, Ю. О.; Грищенко, Ю. В.; Дерябин, А. Н.; Занавескин, М. Л.; Каневский, В. М.; Кожевников, И. В.; Рощин, Б. С.; Тихонов, Е. О.; Толстихина, А. Л.; Федоров, В. А. |
Ветошкин, В. М. Влияние обработки низкоэнергетичными ионами на шероховатость подложек из ситала, поликора и кварца [Текст] / В. М. Ветошкин, П. Н. Крылов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 10. - С. 57-59 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): низкоэнергетичные ионы -- шероховатость подложек -- ситал -- поликор -- кварц -- наноразмерные пленки -- ионно-лучевое травление Аннотация: Исследовано влияние обработки различными низкоэнергетичными ионами на шероховатость подложек из ситалла, поликора и кварца. Установлено, что после обработки ионами аргона шероховатость поверхности уменьшается, а после обработки ионами, образующимися в парах CCl[4] и SiCl[4], увеличивается. Доп.точки доступа: Крылов, П. Н. |