Емельянов, А. М. Связанные с водой ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния, полученных в сухом кислороде [Текст] / А. М. Емельянов // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52, вып: вып. 6. - С. 1060-1066. - Библиогр.: с. 1065-1066 (27 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): сухой кислород -- ловушки носителей заряда -- термические пленки -- ловушки электронов -- движения молекул воды Аннотация: Методом лавинной инжекции электронов и дырок из кремния в сочетании с измерениями вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик тока фотоинжекции электронов из контактов исследованы параметры ловушек электронов и дырок в термических пленках SiO[2], полученных в сухом кислороде. Варьировались условия окисления, отжига и хранения структур. Получены подтверждения предложенных автором модельных представлений о связанных с водой ловушках в таких пленках. Обнаружена зависимость транспортных характеристик ловушек от времени контакта Si-SiO[2]-структур с атмосферным воздухом естественной влажности. Результаты могут быть применены для уменьшения деградационных процессов в приборах на основе Si-SiO[2]-структур, при разработке технологий электролюминесцентных приборов на основе Si-SiO[2]-структур, изучении транспортных характеристик некоторых молекул (например, воды), атомов и ионов в порах (структурных каналах), размеры которых сопоставимы с размерами молекул воды. |