Фроленков, К. Ю. Кинетика дефектообразования в тонкопленочных вакуумных конденсатах [Текст] / К. Ю. Фроленков, В. С. Шоркин // Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78, N 8. - С. 125-127. - Библиогр.: c. 127 (9 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- дефектообразование -- дефекты -- тонкопленочные покрытия -- вакуумные конденсаты -- старение покрытий Аннотация: Выдвинута гипотеза о взаимосвязи изменения относительной дефектной площади тонкопленочных покрытий с уменьшением в них внутренних напряжений с течением времени. Считая материал пленки вязкоупругим, подчиняющимся реологическому соотношению Максвелла-Томсона, на основании этой гипотезы получена и экспериментально проверена математическая модель кинетики дефектообразования в тонкопленочных вакуумных конденсатах при нормальных условиях их хранения и эксплуатации. Удовлетворительное согласие расчетных и экспериментальных данных позволяет рекомендовать разработанную модель для качественной и количественной оценки процесса старения тонкопленочных покрытий, полученных методом конденсации в вакууме. Доп.точки доступа: Шоркин, В. С. |