541.127:546.281 О 587 Онищук, А. А. Механизм термического разложения силанов [Текст] / А. А. Онищук, В. Н. Панфилов> // Успехи химии. - 2001. - Т.70,N4. - Библиогр.:с.369-381 (211 назв.)
Кл.слова (ненормированные): аэрозоли -- вещества химические -- кремний -- механизм пиролиза -- пиролиз -- разложение термическое -- реакции гомогенные -- силаны -- состав химический -- химия теоретическая Аннотация: Рассмотрены и обобщены сведения о механизме термического разложения силанов. Выделены и охарактеризованы главные стадии этого процесса. Основное внимание уделено элементарным гомогенным реакциям, процессам осаждения кремния из газовой фазы и образования аэрозолей. Рассмотрены различные модели образования аэрозолей. Обсуждены результаты теоретических и экспериментальных исследований этого процесса. Приведены данные о химическом составе твердого продукта пиролиза силанов - осадка на стенках реактора и аэрозольных частицах. Отмечено, что содержание водорода в твердом продукте изменяется в широких пределах. Доп.точки доступа: Панфилов, В.Н. |