Механизм образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне [Текст] / А. В. Сасин [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 12. - С. 38-44 : ил. - Библиогр.: с. 44 (8 назв. ) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Электричество и магнетизм в целом Кл.слова (ненормированные): углеродные пленки -- скрещенные поля -- разряды -- неон -- аргон -- электроды -- цилиндрическая геометрия электродов -- цилиндрические электроды -- интерферометрия -- подложки -- диффузионная модель -- процессы переразрядки -- ионы газа -- инертные газы -- нагрев -- экспериментальные данные -- модельные расчеты Аннотация: Исследован процесс образования углеродных пленок в разряде в скрещенных полях в неоне и аргоне с цилиндрической геометрией электродов. Интерферометрическим способом измерено радиальное распределение толщины пленки на торцевой подложке. Предложена диффузионная модель образования пленок. Учтены процессы перезарядки ионов инертного газа и нагрев газа. Проведено сравнение экспериментальных данных с модельными расчетами. Доп.точки доступа: Сасин, А. В.; Чернов, И. А.; Игнатьев, Б. К.; Вагнер, С. Д. |