22.33 А 465 Александров, О. В. Влияние окислительных сред на диффузионно-сегрегационное перераспределение бора в системе термический диоксид кремния-кремний [Текст] / О. В. Александров, Н. Н. Афонин // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N5. - Библиогр.: 21 назв. . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): бор -- диффузия -- кремний -- окисление -- перераспределение примеси -- примеси -- сегрегация Аннотация: Методами вторично-ионной масс-спектрометрии и численного моделирования исследовано диффузионно-сегрегационное перераспределение бора в системе диоксид кремния-кремний при окислении в различных средах. Получены данные о зависимости коэффициента сегрегации бора на межфазной границе (МФГ) SiO[2]/Si и степени ускорения его диффузии в кремнии от типа окислительной среды ("сухой кислород", "влажный кислород", а также наличие в ней паров соляной кислоты), ориентации поверхности кремния и температуры окислительного отжига. Предложена качественная модель явления, основанная на предположении о связи между генерацией неравновесных собственных междоузельных атомов и сегрегационным массопереносом бора через МФГ SiO[2]/Si Доп.точки доступа: Афонин, Н.Н. |