539.21:537 А 139 Абдуев, А. Х. Прозрачные проводящие тонкие пленки на основе ZnO, полученные магнетронным распылением композитной мишени ZnO:Ga-C / А. Х. Абдуев, А. К. Ахмедов, А. Ш. Асваров // Письма в "Журнал технической физики". - 2014. - Т. 40, вып. 14. - С. 71-78 : ил. - Библиогр.: с. 78 (9 назв.) . - ISSN 0320-0116
Рубрики: Физика Электрические и магнитные свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- ZnO -- оксид цинка -- магнетронное распыление -- композитные мишени -- Ga -- галлий -- электрические свойства -- оптические свойства -- температурные зависимости Аннотация: Представлены результаты исследования структуры, электрических и оптических свойств прозрачных проводящих пленок на основе ZnO, легированного галлием, полученных методом магнетронного распыления композитной мишени ZnO: Ga-C. Взаимодействия ZnO с C в тонком поверхностном слое мишени, инициированное ионной бомбардировкой, приводит к увеличению содержания избыточного цинка в составе потока реагентов. Формирование прозрачных проводящих тонких пленок ZnO: Ga при температурах подложки более 100°С в условиях наличия избыточного цинка у поверхности роста имеет результатом улучшение структуры и увеличение проводимости пленок без снижения оптического пропускания в видимом диапазоне. Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2014/14/p71-78.pdf Доп.точки доступа: Ахмедов, А. К.; Асваров, А. Ш.; Институт физики им. Х. И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН (Махачкала); Институт физики им. Х. И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН (Махачкала)Институт физики им. Х. И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН (Махачкала) |