Большаков, А. А. Диагностика индуктивной плазмы методом диодной лазерной спектроскопии поглощения [Текст] / А. А. Большаков, Б. А. Круден // Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78, N 11. - С. 34-44. - Библиогр.: c. 43-44 (60 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): плазма -- индуктивная плазма -- диагностика плазмы -- диодная лазерная спектроскопия поглощения -- лазерная спектроскопия поглощения -- диодные лазеры -- миниатюрные сенсоры Аннотация: Диодный лазер с вертикальным резонатором (VCSEL) использовался как источник перестраиваемого излучения для измерений усредненной по радиусу температуры газа в индуктивном плазменном реакторе. Сканировалось допплеровское уширение поглощения метастабильных атомов Ar на линии 763. 51 nm в аргоновой и аргонно-азотной плазме (3, 45 и 90% N[2] в Ar) при давлении 0. 5-70 Pa и мощности 100 и 300 W. Результаты были сопоставлены с вращательной температурой азота N[2]. Разница в усредненных вращательной и допплеровской температурах связана с неоднородным распределением как температуры, так и термометрических частиц (Ar* и N*[2]) в пространстве. Расчет этих распределений произведен в рамках неравновесной гидродинамической модели плазмы. Целью работы являлась разработка методики бесконтактных измерений температуры и концентраций различных частиц в реакторе при помощи миниатюрного сенсора. Доп.точки доступа: Круден, Б. А. |