Библиотека Омского государственного университета им. Ф.М. Достоевского

Электронные ресурсы

Базы данных

Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Статьи из журналов: 2001-2014

Труды ОмГУ

История ОмГУ

Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 103
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-103

Ширяев, С. А.
Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой [Текст] / С. А. Ширяев, М. В. Атаманов [и др.] // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N2. - Библиогр.: с.104 (2 назв.) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
карбиды -- композитные покрытия -- магнетронное распыление -- нанокристаллы
Аннотация: Предложен метод получения композитных металл-углеродных покрытий, основанный на магнетронном распылении мозаичных катодов. В качестве катода использованы металлы IV, V и VI групп. Для каждого случая проведена компьютерная оптимизация мозаичных элементов катода. Электронная дифракция на отражение показала, что покрытия имеют аморфную и нанокристаллическую структуру. Эти структуры термически стабильны, а покрытия характеризуются особыми физическими свойствами, в особенности низким коэффициентом трения и высокой твердостью

Доп.точки доступа:
Атаманов, М.В.; Гусева, М.И.; Мартыненко, Ю.В.; Митин, А.В.; Митин, В.С.; Московкин, П.Г.

Найти похожие

539.2
К 181

Камзин, А. С.
Влияние концентрации азота на магнитные свойства Fe-Ta-N тонких пленок [Текст] / А. С. Камзин, С. Ю. Мальцев [и др.] // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 12. - Библиогр.: c. 89 (17 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
азот -- магнетронное распыление -- магнитная анизотропия -- магнитомягкие пленки -- нанокристаллы -- отжиг -- тонкие пленки
Аннотация: Синтезированы нанокристаллические магнитомягкие тонкие пленки с высоким содержанием Ta (10 wt%) с использованием метода реактивного радиочастотного магнетронного распыления и последующего отжига. Показано, что микроструктура и магнитные свойства зависят от величины парциального давления азота при распылении и температуры последующего отжига. При отжиге аморфных пленок фомируются нанокристаллы alpha-Fe, свойства и взаимодействия которых определяют параметры пленок. Так, уменьшение размеров alpha-Fe гранул в пленке до величин, меньших длины ферромагнитного обменного взаимодействия, приводит к резкому улучшению магнитомягких свойств пленок. Установлена роль ионов азота в формировании структуры нанокристаллов alpha-Fe и одноосной магнитной анизотропии Fe-Ta-N пленок. Определены технологические режимы осаждения и термической обработки соединений Fe-Ta-N, при которых синтезируются нанокристаллические тонкие пленки Fe-Ta-N с высокими магнитомягкими характеристиками (B[s]=1. 6 T, H[c]=0. 2 Oe и mu[1] (1 MGz) =3400) .

Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2004/12/page-86.html.ru

Доп.точки доступа:
Мальцев, С. Ю.; Камзин, С. А.; Вей Фулинь; Янг Зхенг

Найти похожие

669.017
Т 311

Телеушев, А. Ж.
Синтез и свойства пленок плюмбида тантала Ta[3]Pb [Текст] / А. Ж. Телеушев, В. Н. Володин, Ю. Ж. Тулеушев, Е. А. Жаканбаев // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т. 97, N 3. - Библиогр.: с. 53 (3 назв. ) . - ISSN 0015-3230

УДК

669.017

ББК 34.2
Рубрики: Машиностроение--Металловедение
Кл.слова (ненормированные):
растворы металлов -- магнетронное распыление -- осаждение -- тантал -- пленки -- свинец -- термообработка
Аннотация: Впервые непосредственным магнетронным распылением и соосаждением тантала и свинца на подложки из молибдена и вольфрама получены покрытия, представляющие собой раствор свинца в кубическом альфа-Та, раствор свинца в тетрагональном бета-Та.

Доп.точки доступа:
Володин, В. Н.; Тулеушев, Ю. Ж.; Жаканбаев, Е. А.

Найти похожие

669.017
К 438

Кирюханцев-Корнеев, Ф. В.
Структура и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных магнетронным распылением СВС-мишеней [Текст] / Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Д. В. Штанский [и др.] // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т. 97, N 3. - Библиогр.: с. 103 (26 назв. ) . - ISSN 0015-3230

УДК

669.017

ББК 34.2
Рубрики: Машиностроение--Металловедение
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- композиционные мишени -- СВС -- самораспространяющийся высокотемпературный синтез -- титаноазотные покрытия -- аргон -- электронная спектроскопия -- рентгеноструктурный анализ
Аннотация: Выполнено сравнительное исследование структуры и свойств трехкомпонентных тонких пленок в системе Ti-Si-N, полученных магнетронным распылением композиционных мишеней в среде аргона или газовой смеси аргона с азотом.

Доп.точки доступа:
Штанский, Д. В.; Шевейко, А. Н.; Левашов, Е. А.; Лясоцкий, И. В.; Дьяконова, Н. Б.

Найти похожие

669
С 170

Самардак, А. С.
Межслоевая обменная связь Co/Cu/Co пленок [Текст] / А. С. Самардак, П. В. Харитонский, Ю. Д. Воробьев, Л. А. Чеботкевич // Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т. 98, N 4. - Библиогр.: с. 33-34 (17 назв. ) . - ISSN 0015-3230

УДК

669

ББК 34.3
Рубрики: Машиностроение--Металлургия. Металлы и сплавы
Кл.слова (ненормированные):
ультрадисперсия -- пленки -- поликристаллы -- кобальт -- медь -- магнеторезистивность -- магнетронное распыление -- вибромагнетрометры
Аннотация: Исследованы поликристаллические, ультрадисперсные пленки Co/Cu/Co, полученные магнетронным распылением.

Доп.точки доступа:
Харитонский, П. В.; Воробьев, Ю. Д.; Чеботкевич, Л. А.

Найти похожие

УДК

669

53
Ш 187

Шалыгина, Е. Е.
Особенности магнитных свойств тонкопленочных Co/Fe/Ni магнитных систем [Текст] / Е. Е. Шалыгина, Е. В. Перепелова [и др.] // Письма в журнал технической физики. - 2007. - Т. 33, N 11. - С. 13-19 . - ISSN 0320-0116

УДК

ББК 22.3
Рубрики: Физика--Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
тонкопленочные магнитные системы -- магнитные системы -- магнитооптический метод -- магнетронное распыление -- 3d-переходные металлы -- рентгеноструктурные исследования -- экваториальный эффект Керра -- Керра экваториальный эффект
Аннотация: Магнитные свойства Co/Fe/Ni тонкопленочных структур, полученных методом магнетронного распыления, были изучены с помощью магнитооптического метода. Рентгеноструктурные исследования показали, что все образцы имеют нанокристаллическую структуру. Кривые намагничивания и петли гистерезиса для изучаемых образцов были измерены с помощью экваториального эффекта Керра при двух ориентациях внешнего магнитного поля.

Доп.точки доступа:
Перепелова, Е. В.; Козловский, Л. В.; Таманис, Е.; Мукашева, М. А.; Шалыгин, А. Н.

Найти похожие

539.2
Ч-571

Чеченин, Н. Г.
Исследование структуры и состава нанокомпозитных тонких пленок nc-TiC/a-C: Н ионно-пучковыми методами [Текст] / Н. Г. Чеченин, П. Н. Черных [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 11. - С. 62-66 . - ISSN 0207-3528

УДК

539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
нанокомпозитные пленки -- магнетронное распыление -- аргон-ацетиленовая атмосфера -- ионно-пучковый метод
Аннотация: Исследованы структурные характеристики и состав тонких пленок nc-TiC/a-C: H, полученных с помощью магнетронного распыления в замкнутом несбалансированном магнитном поле в аргон-ацетиленовой атмосфере. С использованием методов резерфордовского и ядерного обратного рассеяния получены данные о содержании углерода и более тяжелых элементов. Методом спектрометрии ядер отдачи найдено процентное содержание водорода в пленках. Предложена схема оценки величины массовой плотности С: Н-матрицы, а также оценки алмазоподобной и графитоподобной фракций в матрице на основе полученных данных.

Доп.точки доступа:
Черных, П. Н.; Куликаускас, В. С.; Pei, Y.; Vainshtein, D.; Hosson, J. Th. M. de

Найти похожие

539.2
П 364

Пичугин, В. Ф.
Применение высокочастотного магнетронного распыления для формирования на поверхности титана тонких кальций-фосфатных биосовместимых покрытий [Текст] / В. Ф. Пичугин, Е. В. Ешенко [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 11. - С. 67-71 . - ISSN 0207-3528

УДК

539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- биосовместимые покрытия -- кальций-фосфатные покрытия -- титан
Аннотация: Тонкие кальций-фосфатные покрытия получены на титановых подложках методом высокочастотного магнетронного распыления. Элементный состав покрытий и типы химических связей в них исследовались методами резерфордовского обратного рассеяния (POP) и инфракрасной фурье-спектроскопии. Исследованы физико-механические характеристики покрытий и их растворимость в биологической жидкости. Полученные покрытия способны значительно снижать растворение подложек и экстракцию легирующих элементов в окружающий раствор.

Доп.точки доступа:
Ешенко, Е. В.; Сурменев, Р. А.; Шестериков, Е. В.; Твердохлебов, С. И.; Рябцева, М. А.; Сохорева, В. В.; Хлусов, И. А.

Найти похожие

10.

539.2
И 300

Иевлев, В. М.
Субструктура и ориентация тонких пленок твердого раствора медь-палладий [Текст] / В. М. Иевлев, Е. К. Белоногов [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 2. - С. 66-70 . - ISSN 0207-3528

УДК

539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- твердые растворы медь-палладий -- медь -- палладий -- магнетронное распыление
Аннотация: Исследованы фазовый и элементный состав, субструктура, ориентация и рельеф тонких пленок Pd-Cu, полученных магнетронным распылением. В условиях ионно-плазменного распыления Pd-Cu мишени на сколах (001) фторфлогопита в интервале температур подложки 550-800 К формируются трехориентационные эпитаксиальные структуры бета-фазы (решетка CsCl). В эпитаксиальных двухфазных пленках твердого раствора кристаллы бета-фазы расположены в ориентационных соотношениях Нишиямы и Вассермана, Курдюмова и Закса по отношению к альфа-фазе. Получены монокристаллические пленки альфа- и бета-твердых растворов на фторфлогопите. Выявлен эффект второго компонента в закономерностях ориентированной кристаллизации.

Доп.точки доступа:
Белоногов, Е. К.; Максименко, А. А.; Бурханов, Г. С.; Рошан, Н. Р.; Шкатов, В. В.

Найти похожие

11.

539.2
Л 690

Логачева, В. А.
Исследование процессов оксидирования и свойств тонкопленочных гетероструктур на основе индия и олова [Текст] / В. А. Логачева, Т. А. Мячина, А. Н. Лукин, А. М. Ховив // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 6. - С. 25-30 . - ISSN 0207-3528

УДК

539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
гетероструктуры -- тонкопленочные гетероструктуры -- индий -- олово -- оксидирование -- магнетронное распыление -- послойное напыление -- твердофазные процессы -- ITO-структуры
Аннотация: В работе исследуются твердофазные процессы в тонких пленках (~200 нм) на основе оксидов индия и олова (ITO-структуры), полученных магнетронным распылением из составной мишени (In - 93 ат. %, Sn - 7 ат. %) и послойным напылением структур In/Sn/Si и SiVIn/Si из двух магнетронов в едином вакуумном цикле при их оксидировании в потоке кислорода. Методами адсорбционной спектроскопии в области края собственного поглощения, рентгеноструктурного анализа и электронной микроскопии проведено сравнение двух способов формирования оптически прозрачных полупроводниковых пленок, изучена динамика изменения их оптических свойств и структуры.

Доп.точки доступа:
Мячина, Т. А.; Лукин, А. Н.; Ховив, А. М.

Найти похожие

12.

621.315.592
А 852

Арсентьев, И. Н.
Свойства барьерных контактов к InP с наноразмерными слоями TiB[x] [Текст] / И. Н. Арсентьев, А. В. Бобыль [и др.] // Физика и техника полупроводников. - 2008. - Т. 42, вып. 7. - С. 793-798 . - ISSN 0015-3222

УДК

621.315.592

ББК 31.233
Рубрики: Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
многослойные барьерные структуры -- наноразмерные слои -- пористые подложки -- газофазная эпитаксия -- магнетронное распыление -- барьер Шоттки -- Шоттки барьер
Аннотация: Исследованы структурные и электрические свойства многослойных барьерных структур Au-TiB[х]-nn\{+\}n\{++\}-InP и TiB[x]-nn\{+\}n\{++\}-InP на стандартных ("жестких") и пористых ("мягких") подложках n\{++\}-InP. Полупроводниковые слои были изготовлены методом газофазной эпитаксии, металлические - магнетронным распылением, а пористые подложки - электрохимическим травлением стандартного InP. Образцы на пористых подложках имеют преимущества по следующим параметрам: токи утечек обратной ветви вольт-амперной характеристики меньше в 10 раз; на порядок больше диапазон экспоненциального роста тока на прямой ветви; при изменении площади контакта в 100 раз изменение фактора идеальности и высоты барьера Шоттки соответственно в 3 и ~ 10 раз меньше; более стабильная структура слоев при отжигах до 800 градусов C.

Доп.точки доступа:
Бобыль, А. В.; Тарасов, И. С.; Болтовец, Н. С.; Иванов, В. Н.; Беляев, А. Е.; Камалов, А. Б.; Конакова, Р. В.; Кудрик, Я. Я.; Литвин, О. С.; Миленин, В. В.; Руссу, Е. В.

Найти похожие

13.

669
Г 657

Гончаров, А. А.
Структура, электрофизические и механические свойства пленок системы Ta-B-N [Текст] / А. А. Гончаров, В. В. Петухов, С. Н. Дуб, В. А. Коновалов // Физика металлов и металловедение. - 2008. - Т. 105, N 4. - С. 391-396. - Библиогр.: с. 395-396 (29 назв. ) . - ISSN 0015-3230

УДК

669

ББК 34.3
Рубрики: Машиностроение
Металлургия. Металлы и сплавы
Кл.слова (ненормированные):
электрофизические свойства -- механические свойства -- магнетронное распыление -- газовые смеси -- азот -- аргон -- TaB[2] -- тонкопленочные покрытия
Аннотация: Покрытия Ta-B-N были получены методом ВЧ-магнетронного реактивного распыления мишени TaB[2] газовой смеси азота и аргона.

Доп.точки доступа:
Петухов, В. В.; Дуб, С. Н.; Коновалов, В. А.

Найти похожие

14.

669
И 300

Иевлев, В. М.
Ориентированная кристаллизация тонких пленок Pd-Cu [Текст] / В. М. Иевлев, Е. К. Белоногов, А. А. Максименко // Физика металлов и металловедение. - 2008. - Т. 105, N 6. - С. 608-613. - Библиогр.: с. 613 (11 назв. ) . - ISSN 0015-3230

УДК

669

ББК 34.1
Рубрики: Технология металлов
Общая технология металлов
Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- электронная микроскопия -- магнетронное распыление -- сплавы -- фторфлоготипы -- фольги -- палладий
Аннотация: Методами просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) исследованы фазовый состав, субструктура и ориентация тонких пленок Pd-Cu, полученных магнетронным распылением мишени сплава и конденсацией на поверхности фторфлоготипа.

Доп.точки доступа:
Белоногов, Е. К.; Максименко, А. А.

Найти похожие

15.

Детекторы УФ-излучения на основе нанокристаллических пленок ZnO [Текст] / В. А. Кривченко [и др. ] // Журнал технической физики. - 2008. - Т. 78, N 8. - С. 107-111. - Библиогр.: c. 111 (15 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

^a681.7

^a539.21:535

ББК 22.341 + 22.374
Рубрики: Физика
Экспериментальные методы и аппаратура оптики
Оптические свойства твердых тел
Кл.слова (ненормированные):
УФ-узлучение -- детекторы излучения -- детекторы УФ-излучения -- ультрафиолетовое излучение -- нанокристаллические пленки -- оксид цинка -- магнетронное распыление -- УФ-детекторы
Аннотация: Нанокристаллические пленки оксида цинка, осажденные методом магнетронного ВЧ-распыления, использовались в качестве рабочего материала для создания УФ-детекторов. Было исследовано влияние режимов осаждения оксида цинка на фотоэлектрические свойства УФ-детекторов. С помощью атомного силового микроскопа проведено сопоставление эффективности УФ-детекторов с топологией их поверхности.

Доп.точки доступа:
Кривченко, В. А.; Лопаев, Д. В.; Пащенко, П. В.; Пирогов, В. Г.; Рахимов, А. Т.; Суетин, Н. В.; Трифонов, А. С.

Найти похожие

16.

Выращивание термостабильных, прозрачных и проводящих слоев ZnO: Al методом магнетронного распыления на постоянном токе [Текст] / Б. М. Атаев [и др. ] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 9. - С. 106-108

УДК

^a536.42

ББК 22.375
Рубрики: Физика
Термодинамика твердых тел
Кл.слова (ненормированные):
термостабильные слои -- прозрачные слои -- проводящие слои -- магнетронное распыление -- оксид цинка
Аннотация: Модифицирован метод реактивного магнетронного распыления путем добавления в рабочую смесь газов небольшого количества водорода с целью увеличения температурной стабильности электрофизических свойств слоев ZnO: Al. Проведены сравнительные исследования полученных слоев с прозрачными проводящими пленками ZnO: Me, полученными в других газовых смесях, а также методом химических транспортных реакций в проточном реакторе пониженного давления.

Доп.точки доступа:
Атаев, Б. М.; Мамедов, В. В.; Багамадова, А. М.; Махмудов, С. Ш.; Омаев, А. К.

Найти похожие

17.

Камзин, А. С.
Мессбауэровские исследования аморфных TbFeCo пленок для "перпендикулярной" магнитной записи информации [Текст] / А. С. Камзин, A. Morisako, X. Liu // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып: вып. 23. - С. 21-26 . - ISSN 0320-0116

УДК

^a544.72

ББК 24.58
Рубрики: Химия
Физическая химия поверхностных явлений
Кл.слова (ненормированные):
мессбауэровские исследования -- аморфные пленки -- магнетронное распыление -- магнитная запись информации
Аннотация: Методом магнетронного распыления получены (при различных давлениях аргона (P[Ar]) в камере ) аморфные пленки Tb[x]Fe[ (100-x-y) ]Co[y] толщиной ~200 nm.

Доп.точки доступа:
Morisako, A.; Liu, X.

Найти похожие

18.

Влияние электрического поля при получении пленок a-SiO[x] : H[угловая скобка]Er, O[угловая скобка] методом магнетронного распыления на постоянном токе на их состав и интенсивность фотолюминесценции ионов эрбия [Текст] / Ю. К. Ундалов [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2008. - Т. 42, вып: вып. 11. - С. 1357-1362

УДК

^a621.315.592

^a535.37

ББК 31.233 + 22.345
Рубрики: Энергетика
   Полупроводниковые материалы и изделия
   Физика
   Люминесценция
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- аморфный гидрогенизированный кремний -- пленки (физика) -- магнетронное распыление -- электрическое поле -- ионы эрбия -- фотолюминесценция
Аннотация: Исследовано влияние электрического поля на элементный состав и фотолюминесценцию пленок аморфного гидрогенизированного кремния, легированного эрбием и кислородом (a-SiO[x] : H[угловая скобка]Er, O[угловая скобка]), при получении их методом магнетронного распыления на постоянном токе. Изучались две серии пленок в зависимости от напряженности электрического поля магнетрона, от площади металлической эрбиевой мишени и от содержания кислорода в рабочей камере. Первая серия пленок была получена при электрически изолированном подложкодержателе, вторая - при положительном потенциале на подложкодержателе относительно катода. Показано, что, хотя характер изменения элементного состава и интенсивность фотолюминесценции ионов эрбия Er\{3+\} в пленках двух серий значительно различаются, в обоих случаях они, в итоге, определяются процессами распыление-окисление Si- и Er-мишений, являющихся катодом.

Доп.точки доступа:
Ундалов, Ю. К.; Теруков, Е. И.; Гусев, О. Б.; Лебедев, В. М.; Трапезникова, И. Н.

Найти похожие

19.

Магнетронное распыление Y-Ba-Cu-O мишени: эффекты изменения напряжения разряда и скорости осаждения пленок [Текст] / Ю. Н. Дроздов [и др. ] // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 1. - С. 125-128. - Библиогр.: c. 128 (17 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное распыление -- осаждение пленок -- эпитаксиальные пленки -- керамические мишени -- высокотемпературные сверхпроводники
Аннотация: Исследованы временные зависимости напряжения разряда и скорости роста эпитаксиальных пленок Y-Ba-Cu-O в магнетронной напылительной системе on-axis конфигурации. Установлено, что при распылении керамической мишени Y-Ba-Cu-O напряжение разряда и скорость осаждения сверхпроводящей фазы уменьшаются со временем и выходят на "квазистационарный" режим по экспоненциальной зависимости. При давлении 100 Pa уменьшение значения индукции магнитного поля вблизи поверхности мишени с 1200 G до 600 G приводит к увеличению напряжения разряда на 25-30%, а скорость осаждения пленок возрастает более чем в два раза. Полученные пленки имеют высокие электрофизические параметры, что продемонстрировано на примере высокочастотного контура: собственная добротность контура на частоте 64. 5 MHa составила 2. 7 105.

Доп.точки доступа:
Дроздов, Ю. Н.; Мастеров, Д. В.; Павлов, С. А.; Парафин, А. Е.

Найти похожие

20.

Коновалов, В. А.
Кинетика нарастания и свойства наноструктурных пленок диборида гафния [Текст] / В. А. Коновалов, Д. Н. Терпий // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 7. - С. 96-100. - Библиогр.: c. 99-100 (22 назв. ) . - ISSN 0044-4642

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
диборид гафния -- наноструктурные пленки -- магнетронное распыление -- рост пленок
Аннотация: Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии, рентгенографирования фотометодом проведено исследование состава, структуры, субструктуры и физико-механических свойств пленок диборида гафния, полученных нереактивным ВЧ магнетронным распылением. На основании анализа результатов выявлена кинетика процесса их нарастания.

Доп.точки доступа:
Терпий, Д. Н.

Найти похожие

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-103

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)