546 В 191 Васильев, Р. Б. Неорганические структуры как материалы для газовых сенсоров [Текст] / Р. Б. Васильев, Л. И. Рябова, М. Н. Румянцева, А. М. Гаськов // Успехи химии. - 2004. - Т. 73, N 10. - Библиогр.: с. 1036-1038 (114 назв. ) . - ISSN 0042-1308
Рубрики: Химия--Неорганическая химия Кл.слова (ненормированные): неорганические структуры -- полупроводниковые материалы -- механизм газовой чувствительности -- газовые сенсоры Аннотация: Проанализированы работы по созданию новых неорганических материалов для газовых сенсоров на основе полупроводниковых структур. Обсуждено влияние адсорбированных молекул на электронное состояние, электропроводность поверхности и внутренних границ раздела в полупроводниковых материалах. Механизм газовой чувствительности рассмотрен на примерах структур металл/диэлектрик/полупроводник, полупроводник/диэлектрик/полупроводник, металл/полупроводник и полупроводник/полупроводник. Отмечены особенности поведения гетероструктур на основе нанокристаллических оксидов металлов на подложках из монокристаллического кремния с диэлектрическим слоем SiO[2]. Описаны сенсорные свойства полупроводниковых структур при детектировании различных молекул. Доп.точки доступа: Рябова, Л. И.; Румянцева, М. Н.; Гаськов, А. М. |