621.78 С 667 Состав и нанотвердость покрытий на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения [Текст] / И. С. Ташлыков [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 1. - С. 66-70 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Машиностроение Упрочнение металлов Кл.слова (ненормированные): кремний -- композиционный состав покрытий -- метод ионно-ассистированного осаждения -- ионно-ассистированные осаждения -- нанотвердость покрытий -- метод резерфордовского обратного рассеяния -- резерфордовское обратное рассеяние -- метод РОР -- титан -- молибден Аннотация: Методом резерфордовского обратного рассеяния c компьютерным моделированием экспериментальных спектров исследован композиционный состав покрытий C, Ti, Zr и Mo на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения. Показано, что в состав покрытий кроме основного компонента входят элементы остаточной атмосферы вакуумной камеры (C, H, O) и Si из подложки. Нанотвердость тонкого (50 нм) поверхностного слоя покрытий в 3-9 раз выше, чем исходного кремния. Доп.точки доступа: Ташлыков, И. С.; Барайшук, С. М.; Тульев, В. В.; Гременок, В. Ф. |