Бабенко, П. Ю. Неупругие потери энергии при однократных и двукратных соударениях ионов Ar+ keV энергии с мишенями из Be, C, Al, Si, Ge и In [Текст] / П. Ю. Бабенко, А. П. Шергин // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 7. - С. 32-36. - Библиогр.: c. 36 (16 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): ионы -- соударение ионов -- спектроскопия медленных рассеянных ионов -- неупругие потери энергии -- рассеяние ионов -- ионное облучение поверхности Аннотация: Методом спектроскопии медленных рассеянных ионов определены значения неупругих потерь энергии Q при рассеянии ионов Ar+ с первоначальной энергией E[0]=5 keV на мишенях из Be, C, Al, Si, Ge и In. Несмотря на то что подавляющее большинство прикладных исследований по анализу элементного состава и структуры материалов для современной электроники выполнено с использованием пучков ионов Ar+, данных по неупругим потерям для этих бомбардирующих частиц крайне мало. Показано, что знание величины Q позволяет правильно интерпретировать энергетические спектры частиц, эмитированных при ионном облучении поверхности. Доп.точки доступа: Шергин, А. П. |