Тепловые параметры слоев и границ раздела в структурах кремний на алмазе [Текст] / А. Ю. Клоков и [др. ] // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып: вып. 12. - С. 2167-2173. - Библиогр.: с. 2172-2173 (21 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): границы раздела -- тепловые параметры -- кремний -- кремниевая подложка -- алмаз -- алмазная пленка -- поликристаллические алмазные пленки Аннотация: Исследованно распространение тепла при комнатной температуре в гетероструктуре, состоящий из поликристаллической алмазной пленки, осажденной из углеродной плазмы на ориентированную кремниевую подложку. Измерена динамика остывания тонкопленочного индиевого термометра, нанесенного на алмазную пленку, после нагрева наносекундными импульсами азотного лазера. Экстремальные данные сравниваются с величинами, рассчитанными в рамках теории теплопроводности для многослойных систем. Проведенный анализ позволил определить одновременно теплопроводность алмазной пленки и тепловое сопротивление границы алмаз/Si и In/алмаз. Доп.точки доступа: Клоков, А. Ю.; Аминев, Д. Ф.; Шарков, А. И.; Ральченко, В. Г.; Галкина, Т. И. |