539.2 Г 611 Головин, Ю. И. Влияние типа и концентрации легирующей примеси на динамику бета-индуцированного изменения микротвердости кремния [Текст] / Ю. И. Головин, А. А. Дмитриевский, Н. Ю. Сучкова // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып. 1. - С. 26-28. - Библиогр.: с. 28 (8 назв. ) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): легирующие примеси -- микротвердость кремния -- кремний -- низкоинтенсивное электронное излучение -- бета-индуцированное разупрочнение Аннотация: Исследовано влияние типа и концентраций легирующей примеси (P, Sb, B) на динамику преобразования подсистемы структурных (собственных и радиационных) дефектов кремния в условиях низкоинтенсивного электронного облучения. Предложена качественная модель формирования комплексов вторичных радиационных дефектов, ответственных за максимум бета-индуцированного разупорядочения монокристаллов кремния. Доп.точки доступа: Дмитриевский, А. А.; Сучкова, Н. Ю. |