621.315.592 В 276 Величко, А. А. Влияние электронного пучка дифрактометра быстрых электронов на морфологию поверхности гетероструктур CaF/Si (100 [Текст] / А. А. Величко, В. А. Илюшин [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 8. - С. 50-58 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Энергетика Полупроводниковые материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): дифракция быстрых электронов -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- гетероструктуры -- пленки CaF[2] -- морфология поверхностей гетероструктур Аннотация: Методом атомно-силовой микроскопии исследовано влияние пучка быстрых электронов дифрактометра на морфологию поверхности пленок CaF[2] в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках Si (100). Показано, что в области воздействия электронного пучка не только существенно меняется вид морфологических дефектов, но и более чем вдвое возрастает их средняя высота. Доп.точки доступа: Илюшин, В. А.; Остертак, Д. И.; Пейсахович, Ю. Г.; Филимонова, Н. И. |