53 Г 611 Головин, Ю. И. Изменения микротвердости кремния, индуцируемые слабоинтенсивным потоком электронов [Текст] / Ю. И. Головин, А. А. Дмитриевский, Н. Ю. Сучкова, М. Ю. Толотаев // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 4. - С. 34-36 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Физика--Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): кремний -- микротвердость кремния -- неравновесные точечные дефекты -- поток электронов Аннотация: Показана преимущественная роль неравновесных точечных дефектов в изменении микротвердости кремния, индуцируемом слабоинтенсивным (I ~ 10\{5\} см\{-2\} с\{-1\}) потоком электронов. Установлено, что необходимым условием разупрочнения под действием слабоинтенсивного облучения является наличие на поверхности оксидного слоя. Методом послойного стравливания определена толщина приповерхностного слоя, в котором наблюдаются аномальные изменения микротвердости. Доп.точки доступа: Дмитриевский, А. А.; Сучкова, Н. Ю.; Толотаев, М. Ю. |