Банишев, А. Ф.     Генерация и накопление дислокаций на поверхности кремния при воздействии импульсно-периодического излучения YAG:Nd лазера [Текст] / А. Ф. Банишев, В. С. Голубев, А. Ю. Кремнев // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N8. - Библиогр.: с. 38 (14 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): дислокации -- лазерное излучение -- разрушение -- кремний Аннотация: Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния, связанное с генерацией и накоплением дислокаций при импульсно-периодическом воздействии излучения YAG:Nd лазера. Получены зависимости критического числа лазерных импульсов, приводящих к разрушению поверхности, от плотности мощности и периода следования. Приводится интерпретация полученных результатов с позиций механизмов лазерной генерации и накопления дислокаций в поверхностном слое полупроводников Доп.точки доступа: Голубев, В.С.; Кремнев, А.Ю.