539.2 Б 230 Банишев, А. Ф. Влияние внешней атмосферы и типа газа на генерацию дефектов и разрушение поверхности кремния при воздействии лазерных импульсов [Текст] / А. Ф. Банишев, В. С. Голубев, А. Ю. Кремнев // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 8. - Библиогр.: c. 85 (17 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): дефекты -- кремний -- лазерное облучение -- разрушение поверхности Аннотация: Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния при импульсном воздействии субмикросекундных лазерных импульсов в атмосфере различных газов: активных - кислород, азот, углекислый газ и инертных - гелий, аргон, криптон. Установлено, что порог разрушения поверхности (порог образования неоднородностей рельефа поверхности) наименьший а атмосфере гелия и наибольший в атмосфере криптона. Предложен механизм роста и релаксации неоднородностей. Перейти: http://www.ioffe.ru/journals/jtf/2004/08/page-81.html.ru Доп.точки доступа: Голубев, В. С.; Кремнев, А. Ю. |