539.2 О 664 Орлов, А. М. Генерация изгибных колебаний полупроводниковых пластин локальными тепловыми источниками [Текст] / А. М. Орлов, А. А. Скворцов, О. В. Литвиненко // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N6. - Библиогр.: 10 назв. . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): генерация колебаний -- изгибные колебания -- металлизация -- полупроводниковые пластины -- токовый нагрев Аннотация: Проведен теоретический и экспериментальный анализ температурных полей при импульсном токовом нагреве дорожки металлизации на поверхности полупроводниковой пластины. Показано, что любые скачкообразные изменения мощности нагрева возбуждают в пластине изгибные колебания, амплитуда которых в пределах области безопасной работы полупроводниковой структуры пропорциональна величине скачка. Найден коэффициент затухания всего волнового пакета Gamma=1103 s{-}1 и различных частотных составляющих возбуждаемого излучения для кремниевой пластины толщиной 300 мкм Доп.точки доступа: Скворцов, А.А.; Литвиненко, О.В. |