Шуаибов, А. К.     Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12 [Текст] / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера // Журнал технической физики. - 2002. - Т.72,N4. - Библиогр.: с.35 (12 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): плазма -- продольный разряд -- ультрафиолетовое излучение Аннотация: Исследовано излучение плазмы контрагированного продольного разряда постоянного тока на смеси He/CF[2]Cl[2] в спектральной области 130-300 nm. Показано, что электроразрядная плазма является источником излучения в диапазоне 150-260 nm, сформированного на основе широких полос молекул Cl[2] и однозарядных ионов хлора. Проведена оптимизация ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового (УФ-ВУФ) излучения плазмы в зависимости от давления и состава рабочей среды, тока разряда и времени работы на одной смеси в газостатическом режиме. Полученные результаты представляют интерес для разработки стационарного источника УФ-ВУФ излучения для применений в микроэлектронике, фотохимии и медицине Доп.точки доступа: Дащенко, А.И.; Шевера, И.В.