537.533.35.7 : 519.245 Ч 465 Черемухин, Е. А. Моделирование эффекта зарядки тонких диэлектрических пленок методом Монте-Карло [Текст] / Е. А. Черемухин, Н. Н. Негуляев [и др.] // Вестник Московского университета. Сер. 3, Физика. Астрономия. - 2004. - N 1. - Библиогр.: с. 51 (19 назв. ) . - ISSN 0201-7385
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): метод Монте-Карло -- диэлектрические пленки -- электронная литография -- эффект зарядки Аннотация: На основе метода Монте-Карло в приближении однократного рассеяния рассмотрены различные модели взаимодействия электронов ( с энергиями 1-100 кэВ ) с веществом. В рамках этих моделей описан эффект зарядки в облучаемом образце, состоящем из тонкого слоя диэлектрика, нанесенного на металл. Произведен расчет распределения потенциала электрического поля и поляризации в объеме мишени. Показано, что зарядка верхнего слоя образца может приводить к значительной потере точности в электронной литографии. Доп.точки доступа: Негуляев, Н. Н.; Борисов, С. С.; Зайцев, С. И.; Грачев, Е. А. |