620.1/.2
Г 635


    Гольдштейн, Р. В.
    Об оценке собственных деформаций кислородосодержащих преципитатов [Текст] / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов [и др.] // Письма в журнал технической физики. - 2008. - Т. 34, вып. 3. - С. 32-38
УДК
ББК 30.3
Рубрики: Техника
   Материаловедение

Кл.слова (ненормированные):
преципитат-дислокационные скопления -- кремниевые пластины -- термическая обработка
Аннотация: Предложен способ оценки собственных деформаций преципитата из анализа преципитат-дислокационных скоплений, возникающих на поздних стадиях многоступенчатой термической обработки кремниевых пластин. Полученная оценка использована для определения количества содержащегося в преципитате вещества.


Доп.точки доступа:
Устинов, К. Б.; Шушпанников, П. С.; Меженный, М. В.; Мильвидский, М. Г.; Резник, В. Я.