531.728 Л 248 Лапшин, Р. В. Способ автоматической коррекции искаженных дрейфом СЗМ-изображений [Текст] / Р. В. Лапшин // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 11. - С. 13-20 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Кл.слова (ненормированные): сканирующий зондовый микроскоп -- автоматическая коррекция изображений -- дрейф микроскопа -- изображение поверхности -- встречно-сканированные изображения Аннотация: Разработан способ автоматического исправления искаженных дрейфом изображений поверхности, полученных на сканирующем зондовом микроскопе. Для случая медленно изменяющихся дрейфов составлены простые линейные преобразования, описывающие возникающие искажения. В качестве исходных данных используется одна или две пары встречно-сканированных изображений (ВСИ). Находя координаты одной и той же особенности поверхности в каждом ВСЯ, решается система линейных уравнений. Полученные решения - коэффициенты линейных преобразований - служат для исправления вызванных дрейфом искажений в горизонтальной и вертикальной плоскостях. Предложено два нелинейных способа коррекции, обеспечивающих в сравнении с линейным способом коррекции большую точность исправления дрейфа. Разработанный метод может применяться при особенность-ориентированном сканировании поверхности. |