535 В 645 Вознесенский, Н. Б. Интерференционный контроль асферических компонентов объектива для нанолитографии [Текст] / Н. Б. Вознесенский, Е. В. Гаврилов [и др.] // Журнал технической физики. - 2007. - Т. 77, N 2. - С. 126-130. - Библиогр.: c. 130 (8 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Оптика Кл.слова (ненормированные): EUV-зеркала; асферические зеркала; дифракционные интерферометры; интерференционный контроль зеркал; нанолитография; объективы Аннотация: Развиты методики и схемы контроля формы EUV-зеркал на основе дифракционного интерферометра с компьютерной обработкой интерферограмм, обеспечивающие погрешность измерений менее 0. 001 длины волны в видимой области спектра. Перейти: http://www.ioffe.rssi.ru/journals/jtf/2007/02/p126-130.pdf Доп.точки доступа: Гаврилов, Е. В.; Жевлаков, А. П.; Кирилловский, В. К.; Орлов, П. В. |
539.2 К 492 Климов, А. Ю. Экспериментальные исследования возможностей интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля формы оптических элементов [Текст] / А. Ю. Климов, Е. Б. Клюенков [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2007. - N 6. - С. 99-103 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Приборостроение Приборостроение в целом Кл.слова (ненормированные): интерферометры с дифракционной волной сравнения -- оптические элементы -- поверхность оптических элементов -- сферические подложки -- экстремальное ультрафиолетовое излучение -- литография -- ЭУФ-литография -- высокоотражающие зеркала Аннотация: Описывается стенд интерферометра с дифракционной волной сравнения для контроля поверхности оптических элементов. Приводятся первые результаты измерений сферических подложек. Обсуждаются возможности улучшения точности измерений. Доп.точки доступа: Клюенков, Е. Б.; Мизинов, А. Л.; Панкратов, Е. Л.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Е. Д.; Чхало, Н. И.; Вознесенский, Н. Б. |