539.2
А 239


    Агеев, В. Н.
    Электронно-стимулированная десорбция атомов натрия из слоев натрия, адсорбированных на пленке золота [Текст] / В. Н. Агеев, авт. Ю. А. Кузнецов // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып. 2. - С. 365-367. - Библиогр.: с. 367 (16 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- атомы натрия -- пленки золота -- ЭСД -- канал ЭСД
Аннотация: Впервые измерены выход и энергораспределения при электронно-стимулированной десорбции атомов натрия из слоев натрия, адсорбированных на вольфраме, покрытом пленкой золота, в зависимости от энергии бомбардирующих электронов, толщины пленки золота и количества адсорбированного натрия. Впервые обнаружен канал электронно-стимулированной десорбции, связанный с возбуждением остовых уровней золота.


Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ю. А.




    Агеев, В. Н.
    Температурные и концентрационные эффекты в электронно-стимулированной десорбции атомов натрия из слоев натрия, адсорбированных на вольфраме, покрытом пленкой золота [Текст] / В. Н. Агеев, Ю. А. кузнецов, Н. Д. Потехина // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып: вып. 8. - С. 1526-1529. - Библиогр.: с. 1529 (21 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- ЭСД -- энергораспределения атомов -- метод поверхностной ионизации -- времяпролетный метод -- низких энергий пик -- высоких энергий пик
Аннотация: Впервые измерены выход и энергораспределения атомов натрия при электронно-стимулированной десорбции из слоев натрия, адсорбированных на вольфраме, покрытом пленкой золота, в зависимости от толщины пленки золота, концентрации напыленного натрия и температуры поверхности. Обнаружены два пика в энергораспределениях: узкий пик с максимумом около 0. 15 eV, интенсивность которого непрерывно возрастает с ростом температуры, и широкий пик с максимумом около 0. 35 eV, интенсивность которого уменьшается или постоянна с ростом температуры. Показано, что оба пика возникают за счет одного и того же возбуждения, которое дает разные каналы электронно-стимулированной десорбци атомов натрия. Обсуждаются возможные механизмы электронно-стимулированной десорбции и кинетика разрушения поверхностного покрытия.


Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ю. А.; Потехина, Н. Д.




    Агеев, В. Н.
    Электронно-стимулированная десорбция атомов натрия в результате реверсивного движения [Текст] / В. Н. Агеев, Ю. А. Кузнецов, Н. Д. Потехина // Физика твердого тела. - 2009. - Т. 51, вып: вып. 2. - С. 393-396. - Библиогр.: с. 396 (12 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- десорбция атомов натрия -- натрий -- энергораспределения атомов -- пленки золота -- выход атомов -- полупроводниковые пленки -- оже-нейтрализация ионов
Аннотация: Впервые измерены выход и электрораспределения атомов натрия при электронно-стимулированной десорбции из слоев натрия, адсорбированных на вольфраме, покрытом пленкой золота, при T = 160 K. Выход атомов Na имеет резонансный характер с порогом появления 30 eV, что может быть объяснено возбуждением экситона на уровне Na 2p. Выход атомов натрия связан с образованием полупроводниковой пленки Na[x]Au[y], которая формируется при T около 300 K и степенях покрытия натрия и золота более монослоя. Десорбция атомов Na происходит в результате Оже-нейтрализации ионов Na{2+} при их реверсивном движении к поверхности и лимитируется резонансной ионизацией атомов Na при прохождении через адсорбированный слой ионов Na{+}. Энергораспределения атомов Na имеют колоколообразную форму с максимумом около 0. 56 eV.


Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ю. А.; Потехина, Н. Д.




    Потехина, Н. Д.
    Электронно-стимулированная десорбция отрицательных ионов O{-} с окисленной поверхности O/Ru [Текст] / Н. Д. Потехина, С. М. Соловьев // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52, вып: вып. 3. - С. 600-606. - Библиогр.: с. 606 (36 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- десорбция -- ультрафиолетовая литография -- отрицательно заряженные ионы O{-} -- ЭДС -- электродвижущая сила
Аннотация: Исследована электронно-стимулированная десорбция (ЭСД) отрицательных ионов кислорода с поверхности O/Ru, которая является дополнительной причиной разрушения защитного окисного слоя зеркал, используемых в ультрафиолетовой литографии. Определено сечение деградации слоя O/Ru за счет ЭСД ионов O{+}, O{-} и атомов O, которое равно 1. 6 10{-19} cm{2}. Из сравнения зависимостей выхода ЭСД ионов O{+} и O{-} от энергии облучающих электронов E с сечением ионизации остовного уровня адсорбата сигма [O] [2s] (E) показано, что основным каналом ЭСД ионов O{-} является ионизация уровня O 2s.


Доп.точки доступа:
Соловьев, С. М.




    Агеев, В. Н.
    Особенности электронно-стимулированной десорбции атомов цезия из системы Cs/CsAu/Au/W [Текст] / В. Н. Агеев, Ю. А. Кузнецов, Н. Д. Потехина // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52, вып: вып. 9. - С. 1828-1836. - Библиогр.: с. 1836 (29 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- атомы цезия -- вольфрам
Аннотация: Продолжается изучение электронно-стимулированной десорбции атомов Cs с поверхности вольфрама, на которую при температуре T=300 K адсорбировались пленки цезия и золота. Ранее было показано, что десорбция атомов Cs начинается лишь после нанесения на поверхность вольфрама более одного монослоя золота и более одного монослоя цезия. В этом случае на поверхности вольфрама при 300 K образуется покрытие, состоящее из адслоя золота на вольфраме, соединения CsAu, обладающего полупроводниковыми свойствами, и монослоя цезия, покрывающего соединение CsAu (Cs/CsAu/Au/W). Выход атомов Cs из такой системы имеет резонансную зависимость от энергии падающих электронов Ee с порогом появления 57 eV и максимумом 64 eV. При этом десорбция атомов Cs происходит по двум каналам, один из которых связан с десорбцией атомов Cs из монослоя цезия, а другой - из слоя CsAu. Исследуется изменение выхода атомов Cs при E[e]=64 [e]V в обоих каналах десорбции при напылении добавочной концентрации цезия на уже сформированную слоистую систему Cs/CsAu/Au/W, а также влияние отжига системы на выход и энергораспределения атомов Cs. Показано, что атомы Cs, напыляемые при 300 K на слоистое покрытие с монослоем цезия поверх слоя CsAu на вольфраме с адслоем золота, не отражаются от монослоя цезия и не адсорбируются на нем, но проникают сквозь монослой цезия в объем CsAu даже при одном слое CsAu. Выход десорбции с ростом концентрации цезия не меняется при 300 K, но постепенно уменьшается при 160 K. Отжиг в диапазоне температур 320

Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ю. А.; Потехина, Н. Д.


536.42
У 748


   
    Усиление электронно-стимулированной десорбции от аморфных пленок оксида алюминия на кремнии при повышении температуры подложки [Текст] / М. В. Иванченко [и др.] // Журнал технической физики. - 2012. - Т. 82, № 5. - С. 115-119. - Библиогр.: c. 118-119 (12 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.375
Рубрики: Физика
   Термодинамика твердых тел

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- десорбция -- аморфные пленки -- оксид алюминия -- кремний -- нагрев подложки -- разрушение пленок -- электронное облучение -- электронные пучки
Аннотация: Исследован эффект высокотемпературной электронно-стимулированной десорбции на пленках Al[2]O[3] толщиной 20 nm, нанесенных на подложку кремния. Эффект электронно-стимулированной десорбции значительно усиливается при нагреве. Обнаружен эффект разрушения пленки до появления чистого Al электронным пучком при нагреве подложки, процесс сопровождается формированием островков, а также областей практически чистой поверхности кремния при достижении некоторой дозы облучения. Показано, что вне облученной области даже при нагреве до 700{o}C и отжиге в течение 90 min пленка Al[2]O[3] толщиной 20 nm остается сплошной. Исследовано влияние энергии пучка первичных электронов на эффект электронно-стимулированной десорбции от пленки Al[2]O[3] толщиной 20 nm на кремнии и установлены параметры, при которых электронно-стимулированная десорбция происходит либо не наблюдается.

Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2012/05/p115-119.pdf

Доп.точки доступа:
Иванченко, М. В.; Гриценко, В. А.; Непомнящий, А. В.; Саранин, А. А.


537.534
Р 153


   
    Радиационная стойкость к низкоэнергетическому электронному облучению нитрида бора и керамик на его основе [Текст] / С. С. Еловиков [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2007. - Т. 71, N 5. - С. 761-764. - Библиогр.: c. 764 (18 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях

Кл.слова (ненормированные):
керамики -- нитрид бора -- термическая стойкость -- электронно-стимулированная десорбция -- радиационная стойкость -- низкоэнергетическое электронное облучение -- электронное облучение
Аннотация: Приведены результаты исследований радиационной стойкости к низкоэнергетическому электронному облучению термостойких керамик на основе нитрида бора - BN + Si[3]N[4] и BN + SiO[2], которые предполагается использовать в качестве конструкционного материала в ионных космических двигателях.


Доп.точки доступа:
Еловиков, С. С.; Зыкова, Е. Ю.; Постников, С. А.; Рыжов, Ю. А.; Шкарбан, И. И.; Юрасова, В. Е.


537.533:537.534
С 322


    Сергеев, И. Н.
    Электронно-стимулированная десорбция с поверхности алюмооксидных керамик [Текст] / И. Н. Сергеев, В. К. Кумыков, В. А. Созаев // Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 8. - С. 1186-1188. - Библиогр.: c. 1188 (6 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- алюмооксидные керамики -- низкоэнергетическая электронная спектроскопия -- электронное облучение -- лейкосапфир -- деструкция оксидов -- керамика -- облучение -- металлизация -- низкоэнегетические электроны
Аннотация: Методами низкоэнергетической электронной спектроскопии исследовано изменение состава поверхности алюмооксидных керамик УФ-46, ВК 94-1, ВК 100-1 и лейкосапфира под действием электронного облучения с энергией 1-2 кэВ при дозах D до 4х10{20}эл. хсм{-2}.


Доп.точки доступа:
Кумыков, В. К.; Созаев, В. А.


536.42
А 239


    Агеев, В. Н.
    Использование электронно-стимулированной десорбции в изучении адсорбированных слоев / В. Н. Агеев, Ю. А. Кузнецов, Н. Д. Потехина // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83, № 6. - С. 85-91. - Библиогр.: c. 91 (31 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.375
Рубрики: Физика
   Термодинамика твердых тел

Кл.слова (ненормированные):
электронно-стимулированная десорбция -- десорбция -- адсорбированные слои -- слоистые покрытия -- вольфрам -- натрий -- цезий -- золото -- самарий -- напыление
Аннотация: После краткого обсуждения главных итогов работ, выполненных по инициативе Н. И. Ионова в его лаборатории с применением к исследованию поверхностных слоев на вольфраме метода электронно-стимулированной десорбции, более подробно обсуждаются последние результаты в изучении слоистых покрытий, образующихся на поверхности вольфрама при совместной адсорбции на нее атомов натрия (или цезия) и золота, а также влияние напыления атомов самария на уже сформированную при 300 K поверхность (Cs+Au) /W (100).

Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2013/06/p85-91.pdf

Доп.точки доступа:
Кузнецов, Ю. А.; Потехина, Н. Д.