Спектральный магнитоэллипсометр [Текст] / С. В. Рыхлицкий [и др. ] // Приборы и техника эксперимента. - 2009. - N 5. - С. 166-167. - Библиогр.: с. 167 (2 назв. ) . - ISSN 0032-8162
Рубрики: Физика Физические приборы и методы физического эксперимента Кл.слова (ненормированные): магнитоэллипсометры -- спектральные магнитоэллипсометры -- оптические параметры -- оптические свойства -- поверхностные микроструктуры -- тонкопленочные слои Аннотация: Комплекс предназначен для измерения оптических параметров поверхностных микроструктур, а также распределения оптических свойств материалов и толщин тонкопленочных слоев по поверхности образца с высоким пространственным разрешением. Комплекс является эффективным аналитическим средством для исследования и контроля параметров поверхности в следующих областях: физика и химия поверхности; физика и химия тонких пленок; физика полупроводников, микро- и нано-электроника; кристаллофизика и оптика. Доп.точки доступа: Рыхлицкий, С. В.; Швец, В. А.; Спесивцев, Е. В.; Прокопьев, В. Ю. |