Прецизионная обработка CVD алмазных пластин излучением Cu-лазера [Текст] / Р. О. Бужинский [и др. ] // Приборы и техника эксперимента. - 2010. - N 2. - С. 156-159. - Библиогр.: с. 159 (6 назв. ) . - ISSN 0032-8162
Рубрики: Техника Материаловедение Кл.слова (ненормированные): прецизионная обработка -- алмазные пластины -- CVD алмазные пластины -- алмазные структуры -- пары меди -- оптические системы -- поликристаллические алмазные пленки -- Cu-лазер Аннотация: В данной работе рассматривается один из методов размерной обработки и микрообработки алмазных структур, основанный на применении лазера на парах меди, излучение которого можно сфокусировать в пятно малых размеров, а также использовать для усиления яркости изображения в оптической системе, способной за один импульс (10 нс) или за небольшое их число обработать 106 точек объекта. Приводятся характеристики обработанных участков поликристаллических алмазных пленок и пластин. Доп.точки доступа: Бужинский, Р. О.; Земсков, К. И.; Исаев, А. А.; Власов, А. В.; Ральченко, В. Г.; Савранский, В. В. |