543.4/.5 П 429 Повышение точности рентгенофлуоресцентного анализа пленок Si[1] - [x]Ge[x] [Текст] / Н. И. Машин [и др.] // Неорганические материалы. - 2010. - Т. 46, N 3. - С. 361-364 : Рис. 2, табл. 2. - Библиогр.: с. 364 (10 назв. )
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): пленки Si[1] - [x]Ge[x] -- аморфный кремний -- пленочные структуры -- кремний-германиевые пленки Аннотация: Проведены исследования по поиску приемов повышения точности рентгенофлуоресцентного определения состава и толщины тонких пленок Si1 - xGex, нанесенных на поликор. Рассчитаны поправочные коэффициенты, учитывающие эффекты взаимного влияния элементов в изучаемых пленочных структурах. Показана возможность достижения необходимого уровня точности определения их состава и толщины. Доп.точки доступа: Машин, Н. И.; Леонтьева, А. А.; Лебедева, Р. В.; Туманова, А. Н. |