539.1/.18 Б 915 Бурмакинский, И. Ю. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в магнетронном разряде [Текст] / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // Журнал технической физики. - 2004. - N 1. - Библиогр.: c. 122 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): ионное распыление -- аргон -- магнетронное осаждение -- перезарядка ионов -- ионы Аннотация: Проведен сравнительный анализ скоростей распыления в магнетронной системе ионного распыления для различных материалов мишени. Приведены эффективные коэффициенты распыления, полученные при использовании аргона в качестве рабочего газа. Показано, что отличие коэффициента распыления от значений, полученных методом моноэнергетичных ионных пучков, обусловлено влиянием резонансной перезарядки иона аргона на собственном газе. Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/01/ Доп.точки доступа: Рогов, А. В. |
537 Б 433 Белкова, Ю. А. Эффекты перезарядки при торможении легких ионов в твердом веществе [Текст] / Ю. А. Белкова, авт. Я. А. Теплова // Известия РАН. Серия физическая. - 2006. - Т. 70, N 6. - С. 856-858. - Библиогр.: с. 858 (12 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Электричество и магнетизм Кл.слова (ненормированные): энергия легких ионов -- потери энергии ионов -- перезарядка ионов -- энергия протонов -- торможение ионов Аннотация: На основе полученных ранее данных экспериментальных результатов рассчитаны потери энергии быстрых легких ионов, прошедших через газовые и твердые мишени. Доп.точки доступа: Теплова, Я. А. |