22.37 М 691     Михайловская, Е. В.     Неоднородные металлодиэлектрические пленки SiO[x]Fe как материал для инфракрасных тепловых приемников излучения [Текст] / Е. В. Михайловская, И. З. Индутный, П. Е. Шепелявый // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N2. - Библиогр.: с.132 (17 назв.) . - ISSN 0044-4642ББК 22.37 Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): вакуумное испарение -- металлодиэлектрические пленки -- микроболометры -- спектры Аннотация: Описана вакуумная технология получения композитных металлодиэлектрических пленок SiO[x] с изменяющейся по толщине концентрацией металла в диэлектрической матрице SiO[x]. Приведены результаты иследования отражения и пропускания таких пленок в ИК области спектра 2-12 mum и моделирования их оптических характеристик. В диапазоне температур 283-390 K исследованы термочувствительные свойства пленок SiO[x] с соотношением объемов фаз Fe (23%) и SiO (77%). Определено значение температурного коэффициента сопротивления (ТКС) для пленок такого состава. Показана возможность использования исследованных пленок в качестве чувствительного слоя микроболометра Доп.точки доступа: Индутный, И.З.; Шепелявый, П.Е.

Расчет тепловых параметров SiGe микроболометров [Текст] / А. В. Войцеховский [и др. ] // Известия вузов. Физика. - 2007. - N 12. - С. 44-50. - Библиогр.: с. 49-50 (12 назв. ) . - ISSN 0021-3411 УДК ^a539.19 ^a539.26 ^a621.1.01 ББК 22.36 + 22.361 + 31.31 Рубрики: Молекулярная физика в целом    Физика    Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики    Теоретические основы теплотехники    Энергетика Кл.слова (ненормированные): болометрические матрицы -- тепловизионные приборы -- теплопроводность -- микроболометры -- фотодетекторы -- тепловые параметры Аннотация: Путем численного моделирования проведен расчет тепловых параметров SiGe микроболометра. Расчет величины теплопроводности и времени теплового отклика хорошо согласуются со значениями, определяем из экспериментальных данных, и лежат в диапазоне от 2 10{-7} до 7 10{-8} Bт/К и от 1, 5 до 4, 5 мс соответственно. Получение высоких значений чувствительности микроболометра достигается путем оптимизации величин времени теплового отклика и теплопроводности болометра за счет подбора геометрии поддерживающих теплоотводных балок либо выбором для нее соответствующего материала, обеспечивающего значение граничного теплового сопротивления на границе раздела с SiGe более 8 10-3 см2 К/Вт. Доп.точки доступа: Войцеховский, А. В.; Григорьев, Д. В.; Юрьев, В. А.; Несмелов, С. Н.

Войцеховский, А. В.     Пороговые характеристики микроболометров на основе поликристаллического силицида германия [Текст] / А. В. Войцеховский, С. Н. Несмелов // Известия вузов. Физика. - 2007. - N 12. - С. 51-55. - Библиогр.: c. 55 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411 УДК ^a621.1.01 ^a539.26 ^a536.42 ББК 31.31 + 22.361 + 22.375 Рубрики: Теоретические основы теплотехники    Энергетика    Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики    Физика    Термодинамика твердых тел Кл.слова (ненормированные): болометрические детекторы -- матричные детекторы -- микроболометры -- поликристаллический силицид германия -- матричные фотоприемники -- тепловизионные приборы Аннотация: Рассчитаны пороговые характеристики микроболометров на основе поликристаллического силицида германия. Показано, что зависимость обнаружительной способности от удельного сопротивления микроболометра характеризуется максимумом. Установлены оптимальные для улучшения пороговых характеристик диапазоны напряжений и удельного сопротивления. Доп.точки доступа: Несмелов, С. Н.