541.6 Б 907 Булгакова, С. А. Исследование влияния состава и молекулярно-массовых характеристик метакриловых сополимеров на их чувствительность к экстремальному ультрафиолетовому излучению [Текст] / С. А. Булгакова, И. П. Иванов, А. Я. Лопатин, Л. М. Мазанова // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 6. - С. 90-94 . - ISSN 0207-3528
Рубрики: Химия Химия высокомолекулярных соединений Кл.слова (ненормированные): метакриловые сополимеры -- сополимеры -- ультрафиолетовое излучение Аннотация: Синтезированы бинарные и тройные сополимеры (мет) акриловых мономеров различного химического строения. Исследовано влияние состава и молекулярной массы сополимеров на чувствительность и контрастность резистов на их основе при экспонировании в области экстремального ультрафиолетового излучения (ламбда прближенно равно 13 нм). Разработан резист, имеющий чувствительность к излучению 0. 6-1. 0 мДж/см\{2\} и коэффициент контрастности гамма=1. 5. Доп.точки доступа: Иванов, И. П.; Лопатин, А. Я.; Мазанова, Л. М. |