Вольпяс, В. А.     Регрессионная модель каскада смещенных атомов при ионном твердого тела [Текст] / В. А. Вольпяс, П. М. Дымашевский // Журнал технической физики. - 2001. - Т.71,N11. - Библиогр.: с.5 (13 назв.) . - ISSN 0044-4642 Рубрики: Физика--Ядерная физика Кл.слова (ненормированные): ионное распыление -- ионно-атомные столкновения -- рассеяние частиц Аннотация: Разработана регрессионная модель каскада ионно-атомных столкновений при ионном распылении аморфных и поликристаллических материалов. Предложенная модель каскада смещенных атомов позволяет описывать упругие процессы рассеяния атомных частиц в твердом теле в применением различных межатомных потенциалов взаимодействия. На основе этой модели рассчитаны значения коэффициентов распыления материалов с порядковыми номерами Z[n]=22...79 и скорости ионного распыления ряда многокомпонентных материалов. Сравнение результатов статистического моделирования в рамках разработанной модели с экспериментальными данными по распылению аморфных и поликристаллических материалов показало, что предложенная модель каскада ионно-атомных столкновений и каскада смещенных атомов достаточно корректно в пределах статистического разброса экспериментальных данных описывает процессы ионного распыления Доп.точки доступа: Дымашевский, П.М.