Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в МЭМС со встречно-штыревой структурой [Текст] / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Доклады Академии наук высшей школы России. - 2009. - N 1 (12). - С. 99-106 : ил. - Библиогр.: с. 106 . - ISSN 1727-2769
Рубрики: Энергетика Электротехника в целом Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- микроэлектромеханические системы -- встречно-штыревая структура -- электрическая емкость -- электростатическая сила -- распределение зарядов -- краевые эффекты -- нанотехнологии -- микротехнологии Аннотация: О результатах исследований латеральной составляющей электростатической силы в микроэлектромеханических системах со встречно-штыревым расположением электродов. Доп.точки доступа: Остертак, Д. И. |