Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=стеклоуглеродные подложки<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Изготовление LIGA-шаблонов для создания микрофлюидных аналитических систем [Текст] / Б. Г. Гольденберг [и др. ] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 8. - С. 61-64
УДК
^a53
ББК 22.3
Рубрики: Физика
   Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
рентгеновская литография -- рентгеновские микропучки -- микрофлюидные системы -- нанофлюидные системы -- рентгеношаблоны -- LIGA-шаблоны -- стеклоуглеродные подложки
Аннотация: Представлены предварительные результаты по созданию и тестированию образцов LIGA-шаблонов для глубокой рентгеновской литографии в спектральном диапазоне 3. 5–13. 5 кэВ. Метод изготовления шаблонов основан на прямом нанесении рисунка шаблона с минимальными размерами элементов > 10 мкм непосредственно рентгеновским микропучком СИ. При таком способе исключается необходимость промежуточного шаблона, что значительно упрощает процесс изготовления, снижает трудоемкость и стоимость создаваемых LIGA-шаблонов.


Доп.точки доступа:
Гольденберг, Б. Г.; Горячковская, Т. Н.; Елисеев, В. С.; Колчанов, Н. А.; Кондратьев, В. И.; Кулипанов, Г. Н.; Попик, В. М.; Пельтек, С. Е.; Петрова, Е. В.; Пиндюрин, В. Ф.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)