Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=протонно-стимулированная диффузия<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
621.315.592
А 465

    Александров, О. В.
    Моделирование приповерхностной протонно-стимулированной диффузии бора в кремнии [Текст] / О. В. Александров, авт. В. В. Козловский // Физика и техника полупроводников. - 2008. - Т. 42, вып. 3. - С. 262-267 . - ISSN 0015-3222
УДК
621.315.592
ББК 31.233
Рубрики: Энергетика
   Полупроводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
протонно-стимулированная диффузия -- бор -- кремний -- межузельные атомы -- уравнение Пуассона -- Пуассона уравнение
Аннотация: Впервые разработана количественная модель приповерхностного перераспределения легирующей примеси в кремнии в процессе протонно-стимулированной диффузии. Согласно модели, приповерхностный пик концентрации примеси обусловлен миграцией к поверхности нейтральных пар примесь-собственный межузельный атом с последующим их распадом и накоплением примеси на поверхности кремния в тонком дельта-слое. Следующие в глубь за приповерхностным пиком концентрации области обеднения и обогащения вызваны вытеснением ионизованной примеси электрическим полем из приповерхностной области его проникновения. Поле создается образующимся под действием протонного облучения зарядом пленки естественного оксида на поверхности кремния. Диффузионно-кинетические уравнения для примеси, собственных межузельных атомов, вакансий и пар примесь-собственный межузельный атом решались численно совместно с уравнением Пуассона. Показано количественное соответствие расчетов экспериментальным данным по протонно-стимулированной диффузии примеси бора в приповерхностной области кремния.


Доп.точки доступа:
Козловский, В. В.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)