Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=нанокластерные слои<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
53
В 780


    Востоков, Н. В.
    Формирование структур с нанокластерными слоями Al, внедренными в матрицу GaAs в процессе металлорганической газофазной эпитаксии [Текст] / Н. В. Востоков, В. В. Данильцев [и др.] // Письма в журнал технической физики. - 2007. - Т. 33, N 10. - С. 83-88 . - ISSN 0320-0116
УДК
ББК 22.3
Рубрики: Физика--Общие вопросы физики
Кл.слова (ненормированные):
нанокластерные слои -- эпитаксия -- полупроводниковые структуры -- нанофизика -- наноэлектроника -- механизм роста Фольмера-Вебера -- Фольмера-Вебера механизм роста
Аннотация: Исследованы закономерности формирования методом металлорганической газофазной эпитаксии полупроводниковых структур, представляющих собой матрицу монокристаллического GaAs с внедренными слоями нанокластеров Al. Предложен и реализован новый режим заращивания нанокластерных слоев Al арсенидом галлия, обеспечивающий планаризацию поверхности полупроводникового слоя при его толщине, сравнимой с высотой нанокластеров.


Доп.точки доступа:
Данильцев, В. В.; Дроздов, Ю. Н.; Пряхин, Д. А.; Шашкин, В. И.; Шулешова, И. Ю.

Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)