Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>A=Бурмакинский, И. Ю.$<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.
537
Б 915

    Бурмакинский, И. Ю.
    Расчет профиля выработки катода для магнетронных систем ионного распыления [Текст] / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // Журнал технической физики. - 2003. - Т.73,N10. - Библиогр.: 7 назв. . - ISSN 0044-4642
УДК
537
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
ионное распыление -- катоды -- магнетронные системы ионого распыления
Аннотация: Предложен метод расчета параметров области выработки катода для планарных магнетронных систем ионного распыления по среднеинтегральным характеристикам магнитного и электрического полей без детального анализа пространственных характеристик разрядной плазмы. Проведено сравнение с профилями выработки катода для прямоугольной и дисковых планарных систем ионного распыления.


Доп.точки доступа:
Рогов, А.В.

Найти похожие
2.
539.1/.18
Б 915

    Бурмакинский, И. Ю.
    Влияние резонансной перезарядки ионов аргона на эффективную скорость распыления в магнетронном разряде [Текст] / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // Журнал технической физики. - 2004. - N 1. - Библиогр.: c. 122 (10 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
539.1/.18
ББК 22.38
Рубрики: Физика--Ядерная физика
Кл.слова (ненормированные):
ионное распыление -- аргон -- магнетронное осаждение -- перезарядка ионов -- ионы
Аннотация: Проведен сравнительный анализ скоростей распыления в магнетронной системе ионного распыления для различных материалов мишени. Приведены эффективные коэффициенты распыления, полученные при использовании аргона в качестве рабочего газа. Показано, что отличие коэффициента распыления от значений, полученных методом моноэнергетичных ионных пучков, обусловлено влиянием резонансной перезарядки иона аргона на собственном газе.

Перейти: http: //www. ioffe. ru/journals/jtf/2004/01/

Доп.точки доступа:
Рогов, А. В.

Найти похожие
3.
537
Р 598

    Рогов, А. В.
    Исследование магнетронного разряда постоянного тока методом подвижного сеточного анода [Текст] / А. В. Рогов, И. Ю. Бурмакинский // Журнал технической физики. - 2004. - Т. 74, N 4. - Библиогр.: c. 30 (11 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
537
ББК 22.33
Рубрики: Физика--Электричество и магнетизм
Кл.слова (ненормированные):
магнетронные разряды -- магнетроны -- плотность ионизирующих электронов -- плотность электронов -- сеточные аноды
Аннотация: Предложена методика измерения плотности ионизующей электронной компоненты в магнетронном разряде постоянного тока в области сильных неоднородных магнитных полей на основе анализа экспериментальной зависимости тока разряда от расстояния между анодом и катодом при использовании сеточного анода. На основе методики исследованы параметры магнетронного разряда на технологическом магнетроне с малой зоной локализации разряда над поверхностью катода в рабочем режиме эксплуатации.

Перейти: http: //www. ioffe. rssi. ru/journals/jtf/2004/04/page-27. html. ru

Доп.точки доступа:
Бурмакинский, И. Ю.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)