Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=шестиполюсные корректоры аберраций<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Баранова, Л. А.
    Компьютерное моделирование шестиполюсных корректоров аберраций [Текст] / Л. А. Баранова, F. H. Read, D. Cubric // Журнал технической физики. - 2009. - Т. 79, N 7. - С. 85-91. - Библиогр.: c. 91 (11 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях

Кл.слова (ненормированные):
коррекция аберрации -- корректоры аберрации -- объективы электронного микроскопа -- шестиполюсные корректоры аберраций -- сферическая аберрация -- электронные микроскопы
Аннотация: Исследованы особенности применения шестиполюсных электронно-оптических элементов для коррекции сферической аберрации объектива низковольтного растрового электронного микроскопа. По сравнению с известными и хорошо изученными квадрупольно-октупольными корректорами шестиполюсные системы конструктивно более просты, их легче настроить и они менее чувствительны к погрешностям изготовления и нестабильности питания. Рассмотрены два типа шестиполюсных корректоров, имеющих следующие конфигурации: RHRHR и HRRH (R - осесимметричная линза, round lens, и H - шестиполюсник, hexapole). Обе конфигурации обеспечивают существенное уменьшение сферической аберрации объектива электронного микроскопа, но не корректируют хроматической аберрации. Вторая конфигурация обладает весьма существенными преимуществами по сравнению с первой: она имеет более простые конструкцию и систему питания, а также допускает более простую процедуру настройки. Как показали исследования, дополнительными преимуществами второй конфигурации являются более низкие потенциалы на электродах, более высокая точность коррекции аберраций и меньшая чувствительность к погрешностям изготовления. С другой стороны, хроматическая аберрация второй конструкции несколько больше, чем первой.


Доп.точки доступа:
Read, F. H.; Cubric, D.

Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)