Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=сухой кислород<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.


    Александров, О. В.
    Объемная модель быстрого термического окисления кремния [Текст] / О. В. Александров, А. И. Дусь // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 8. - С. 57-63
УДК
^a539.2
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
быстрое термическое окисление -- сухой кислород -- коэффициент диффузии кислорода -- объемные модели -- внутренние механические напряжения -- диоксид кремния
Аннотация: Разработана модель быстрого термического окисления кремния в сухом кислороде на основе объемной реакции окисления. Предполагается, что коэффициент диффузии кислорода в диоксиде кремния замедляется внутренними механическими напряжениями сжатия. Последние максимальны вблизи границы раздела Si[2]-Si, а при удалении от нее уменьшаются по экспоненциальному закону в зависимости от времени вследствие вязкоупругой релаксации от значения коэффициента диффузии в напряженном оксиде до значения коэффициента диффузии в плавленом кварце. Характеристическое время релаксации коэффициента диффузии кислорода в диоксиде кремния коррелирует со временем релаксации внутренних напряжений в пленках диоксида кремния на кремнии и временем релаксации коэффициента преломления. Поскольку коэффициент преломления связан с плотностью диоксида кремния, можно сделать вывод, что релаксация коэффициента диффузии связана не только с релаксацией внутренних механических напряжений, но также и с релаксацией плотности диоксида кремния.


Доп.точки доступа:
Дусь, А. И.

Найти похожие
2.


    Емельянов, А. М.
    Связанные с водой ловушки носителей заряда в термических пленках диоксида кремния, полученных в сухом кислороде [Текст] / А. М. Емельянов // Физика твердого тела. - 2010. - Т. 52, вып: вып. 6. - С. 1060-1066. - Библиогр.: с. 1065-1066 (27 назв. ) . - ISSN 0367-3294
УДК
^a539.2
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
сухой кислород -- ловушки носителей заряда -- термические пленки -- ловушки электронов -- движения молекул воды
Аннотация: Методом лавинной инжекции электронов и дырок из кремния в сочетании с измерениями вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик тока фотоинжекции электронов из контактов исследованы параметры ловушек электронов и дырок в термических пленках SiO[2], полученных в сухом кислороде. Варьировались условия окисления, отжига и хранения структур. Получены подтверждения предложенных автором модельных представлений о связанных с водой ловушках в таких пленках. Обнаружена зависимость транспортных характеристик ловушек от времени контакта Si-SiO[2]-структур с атмосферным воздухом естественной влажности. Результаты могут быть применены для уменьшения деградационных процессов в приборах на основе Si-SiO[2]-структур, при разработке технологий электролюминесцентных приборов на основе Si-SiO[2]-структур, изучении транспортных характеристик некоторых молекул (например, воды), атомов и ионов в порах (структурных каналах), размеры которых сопоставимы с размерами молекул воды.


Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)