Библиотека Омского государственного университета им. Ф.М. Достоевского

Электронные ресурсы

Базы данных

Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Статьи из журналов: 2001-2014

Труды ОмГУ

История ОмГУ

Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=распылительные системы<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

Перекрестов, В. И.
Закономерности структурообразования слоев Al вблизи фазового равновесия в системе плазма-конденсат [Текст] / В. И. Перекрестов, А. С. Корнющенко, Ю. А. Косминская // Физика твердого тела. - 2008. - Т. 50, вып: вып. 7. - С. 1304-1311. - Библиогр.: с. 1311 (11 назв. ) . - ISSN 0367-3294

УДК

^a539.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
алюминий -- фазовое равновесие -- система плазма-конденсат -- пористые структуры -- пористость -- распылительные системы
Аннотация: Предложен принципиально новый технологический подход к формированию пористых структур металлов на изотропных подложках при конденсации обратных диффузионных потоков планарного магнетрона на постоянном токе. Проанализированы физические основы самосогласованных распылительных систем. При помощи растровой электронной микроскопии выявлены условия формирования таких основных вариантов пористости, как слабосвязанные между собой микро- и нанокристаллы, также трехмерные лабиринтные структуры. Установлено, что необходимыми основными предпосылками порообразования являются стационарность процесса и близость к фазовому равновесию в системе плазма-конденсат.

Доп.точки доступа:
Корнющенко, А. С.; Косминская, Ю. А.

Найти похожие

Сочугов, Н. С. (канд. физ. -мат. наук).
Электронный пучок дает жизнь топливному элементу [Текст] / Н. С. Сочугов, А. В. Батраков // Наука из первых рук. - 2010. - N 2 (32). - С. 13 : ил. - Библиогр.: с. 13 (1 назв. ) . - ISSN 1810-3960

ГРНТИ	29.31.17
УДК	^a537.533/.534

ББК 22.338
Рубрики: Физика
Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
твердооксидные топливные элементы -- топливные элементы -- электронный пучок -- магнетронные распылительные системы -- распылительные системы -- твердое тело
Аннотация: Об исследованиях по воздействию импульсных сильноточных электронных пучков на поверхность твердых тел.

Доп.точки доступа:
Батраков, А. В. (канд. физ. -мат. наук)

Найти похожие

Импульсное напыление в низкотемпературной плазме тонких пленок с наноразмерной периодичностью свойств [Текст] / А. А. Сердобинцев [и др. ] // Физика и техника полупроводников. - 2009. - Т. 43, вып: вып. 6. - С. 859-862 : ил. - Библиогр.: с. 862 (10 назв. ) . - ISSN 0015-3222

УДК

^a621.315.592

ББК 31.233
Рубрики: Энергетика
Проводниковые материалы и изделия
Кл.слова (ненормированные):
напыления -- импульсные напыления -- распылительные системы -- импульсы -- импульсы напряжения -- импульсный режим -- низкотемпературные плазмы -- масс-спектроскопия -- вторично-ионная масс-спектроскопия -- фотолюминесценция
Аннотация: Исследован процесс формирования пленки в низкотемпературной плазме с импульсным режимом работы. Последовательность импульсов напряжения на распылительной системе содержала серии коротких и длинных импульсов, причем время короткого импульса выбиралось меньше времени установления режима тлеющего разряда. Методом вторично-ионной масс-спектрометрии подтверждено формирование наноразмерной периодичности состава в полученных пленках. Исследована фотолюминесценция синтезированных в импульсном режиме пленок, обнаружена возможность управления характером и интенсивностью люминесценции.

Доп.точки доступа:
Сердобинцев, А. А.; Веселов, А. Г.; Кирясова, О. А.; Портнов, С. А.; Браташов, Д. Н.

Найти похожие

Характеристики плазмы несбалансированной магнетронной распылительной системы и их влияние на параметры покрытий ZnO: Ga [Текст] / А. А. Соловьев [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 2. - С. 58-65 . - ISSN 0015-3214

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
распылительные системы -- плазма -- катоды -- магнетронные распылительные системы -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- проводящие оксиды -- системы с электромагнитной катушкой -- несбалансированные магнетронные распылительные системы -- оксид цинка -- легирование -- галлий
Аннотация: Экспериментально изучены характеристики магнетронной распылительной системы с электромагнитной катушкой, позволяющей реализовывать различные конфигурации магнитного поля над поверхностью катода. Исследовано влияние режимов магнетронного распыления на свойства легированных галлием пленок оксида цинка.

Доп.точки доступа:
Соловьев, А. А.; Захаров, А. Н.; Работкин, С. В.; Оскомов, К. В.; Сочугов, Н. С.

Найти похожие

Исследование характеристик плазмы в несбалансированной магнетронной распылительной системе [Текст] / А. А. Соловьев [и др. ] // Физика плазмы. - 2009. - Т. 35, N 5. - С. 443-452 : 16 рис. - Библиогр.: с. 452 (21 назв. ) . - ISSN 0367-2921

ГРНТИ	29.27.35
УДК	^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
плазма -- магнетронные системы -- распылительные системы -- магнитные поля -- магнетронные разряды -- электроны -- характеристики плазмы
Аннотация: Магнетронная распылительная система позволяет реализовать различные конфигурации магнитного поля над поверхностью катода. В целях изучения процесса формирования и переноса носителей заряда в магнетронном разряде с несбалансированной конфигурацией магнитного поля были проведены зондовые измерения характеристик катода до подложки.

Доп.точки доступа:
Соловьев, А. А.; Сочугов, Н. С.; Оскомов, К. В.; Работкин, С. В.

Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)