Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=распределение концентрации изотопов<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Получение слоев изотопно-модифицированного кремния методом стимулированного плазмой осаждения из газовой фазы тетрафторида кремния [Текст] / П. Г. Сенников [и др. ] // Письма в "Журнал технической физики". - 2009. - Т. 35, вып: вып. 20. - С. 41-47 : ил. - Библиогр.: с. 46-47 (21 назв. ) . - ISSN 0320-0116
УДК
^a539.2
^a533.9
ББК 22.37 + 22.333
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом
   Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
кремний -- изотопно-модифицированный кремний -- слои кремния -- получение слоев кремния -- плазма -- метод плазмохимического осаждения -- тетрафторид кремния -- изотопно-модифицированный тетрафторид кремния -- газовые фазы -- изотопный состав -- изотопы -- аморфные структуры -- кислород -- содержание кислорода -- спектроскопия -- методы рамановской спектроскопии -- спектры пропускания -- ИК-диапазоны -- инфракрасные диапазоны -- концентрация изотопов -- масс-спектрометрия -- метод вторичной ионной масс-спектрометрии -- распределение концентрации изотопов
Аннотация: Методом плазмохимического осаждения с использованием изотопно-модифицированного тетрафторида кремния были получены слои кремния, отличающиеся изотопным составом от природного распределения изотопов. Полученные слои обладают аморфной структурой и характеризуются значительным содержанием кислорода в своем составе. Образцы исследованы методами рамановской спектроскопии, изучен спектр пропускания в ИК-диапазоне и распределение концентрации изотопов по толщине слоя методом вторичной ионной масс-спектрометрии.


Доп.точки доступа:
Сенников, П. Г.; Голубев, С. В.; Шашкин, В. И.; Пряхин, Д. А.; Дроздов, М. Н.; Андреев, Б. А.; Pohl, H. -J.; Годисов, О. Н.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)