Библиотека Омского государственного университета им. Ф.М. Достоевского

Электронные ресурсы

Базы данных

Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Статьи из журналов: 2001-2014

Труды ОмГУ

История ОмГУ

Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ионно-лучевое травление<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

621.315.592
Б 740

Богобоящий, В. В.
Механизм конверсии типа проводимости в легированном мышьяком p-Cd(x)Hg(1-x)Te при ионно-лучевом травлении [Текст] / В. В. Богобоящий, А. П. Власов, И. И. Ижнин // Известия вузов. Физика. - 2001. - Т.44,N1. - Библиогр.: с.58 (19 назв.) . - ISSN 0021-3411

УДК

621.315.592

Рубрики: Физика--Физика твердого тела
Кл.слова (ненормированные):
твердые растворы -- конверсия типа проводимости -- ионно-лучевое травление -- донорный комплекс -- проводимость
Аннотация: На основе анализа процессов химической диффузии ртути в узкощелевых твердых растворах p-Cd(x)Hg(1-x)te:As предложен механизм конверсии типа проводимости при ионно-лучевом травлении. Показано, что n-p-конверсия типа проводимости в этом случае обусловлена образованием донорного комплекса мышьяк в подрешетке Te-межузельный атом Hg, а концентрация электронов в конвертируемом слое соответствует концентрации введенной примеси мышьяка. Результаты теоретического анализа подтвержены даннымии экспериментального исследования профиля распределения концентрации электронов в конвертированном в процессе ионно-лучевого травления n-слое эпитаксиальной структуры p-Cd(x)Hg(1-x)Te:As

Доп.точки доступа:
Власов, А.П.; Ижнин, И.И.

Найти похожие

Ветошкин, В. М.
Влияние обработки низкоэнергетичными ионами на шероховатость подложек из ситала, поликора и кварца [Текст] / В. М. Ветошкин, П. Н. Крылов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2008. - N 10. - С. 57-59 . - ISSN 0207-3528

УДК

^a639.2

ББК 22.37
Рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Кл.слова (ненормированные):
низкоэнергетичные ионы -- шероховатость подложек -- ситал -- поликор -- кварц -- наноразмерные пленки -- ионно-лучевое травление
Аннотация: Исследовано влияние обработки различными низкоэнергетичными ионами на шероховатость подложек из ситалла, поликора и кварца. Установлено, что после обработки ионами аргона шероховатость поверхности уменьшается, а после обработки ионами, образующимися в парах CCl[4] и SiCl[4], увеличивается.

Доп.точки доступа:
Крылов, П. Н.

Найти похожие

Профили распределения дефектов в варизонных слоях гетероэпитаксиальных структур p-НgСdТе при ионно-лучевом травлении [Текст] / А. В. Войцеховский [и др. ] // Известия вузов. Физика. - 2008. - Т. 51, N 9. - С. 51-56. - Библиогр.: c. 56 (10 назв. ) . - ISSN 0021-3411

УДК

^a621.37/.39

^a621.382

ББК 32 + 32.852
Рубрики: Радиоэлектроника в целом
Радиоэлектроника
Полупроводниковые приборы
Кл.слова (ненормированные):
варизонные слои -- гетероэпитаксиальные структуры -- ионно-лучевое травление -- полупроводники -- фотоприемные устройства
Аннотация: Представлены результаты исследований по пространственному распределению донорных центров в варизонных слоях HgCdTe р-типа с различным профилем состава в приповерхностной области после ионно-лучевого травления. Обнаружено, что глубина п{+}-слоя, образующегося после облучения, слабо зависит от режимов ионно-лучевого травления и состава поверхности материала и составляет величину 0, 5-1 мкм. С увеличением времени травления наблюдается рост концентрации электронов в п{+}-слое на поверхности. Показано, что режимы ионно-лучевого травления и состав приповерхностной области существенно влияют только на глубину п{-} -слоя с низкой концентрацией электронов. Анализ экспериментальных данных показывает, что процесс ионно-лучевого травления в гетероэпитаксиальных структурах p-НgСdТе с градиентом состава в приповерхностной области отличен от травления в однородных эпитаксиальных структурах и кристаллах HgCdTe.

Доп.точки доступа:
Войцеховский, А. В.; Волков, В. С.; Григорьев, Д. В.; Ижнин, И. И.; Коротаев, А. Г.; Коханенко, А. П.; Посяцк, М.; Средин, В. Г.; Талипов, Н. Х.

Найти похожие

Ветошкин, В. М.
Особенности ионно-лучевого травления кварца в среде хлорсодержащих газов [Текст] / В. М. Ветошкин, П. Н. Крылов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 1. - С. 93-95

УДК

^a539.26

ББК 22.361
Рубрики: Физика
Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики
Кл.слова (ненормированные):
травление материалов -- газовая среда -- ионно-лучевое травление -- хлорсодержащие газы -- кварц -- оптические материалы -- фторсодержащие соединения
Аннотация: Проведено моделирование процессов разложения CCl[4], SiCl[4], основанное на определении термодинамических характеристик реакций между материалом, подвергаемым травлению, и газовой средой. Исследованы особенности ионно-лучевого травления кварца в среде хлорсодержащих газов SiCl[4], CCl[4] и их смеси с кислородом. Определены оптимальные режимы, обеспечивающие высокие скорости травления кварца при использовании ионного источника “Радикал М-100”.

Доп.точки доступа:
Крылов, П. Н.

Найти похожие

621.38
Н 540

Неразрушающий контроль процесса ионно-лучевого травления наноразмерных гетероструктур [Текст] / С. Б. Симакин [и др.] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2011. - Т. 77, N 3. - С. 28-34. - Библиогр.: с. 34 (8 назв. ) . - ISSN 1028-6861

УДК

621.38

620.1/.2

ББК 32.85 + 30.3
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом
   Техника
   Материаловедение
Кл.слова (ненормированные):
неразрушающий контроль -- ионно-лучевое травление -- травление гетероструктур -- наноразмерные гетероструктуры -- методики контроля -- реактивное травление -- ионно-индуцированный ток -- ток вторичных электронов
Аннотация: Рассмотрены технологические и экспериментальные возможности создания и использования методик контроля процессов ионно-лучевого и реактивного ионно-лучевого травления наноразмерных гетерокомпозиций с применением регистрации ионно-индуцированного тока и тока вторичных электронов.

Доп.точки доступа:
Симакин, С. Б.; Сергиенко, А. А.; Кузнецов, Г. Д.; Курочка, А. С.; Курочка, С. П.; Ходос, Ю. А.; Харламов, Н. А.; Пушкарев, М. А.

Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)