Электронные ресурсы

Базы данных


Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска
Электронный каталог
Статьи из журналов: 2001-2014
Труды ОмГУ
История ОмГУ
Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=электронные тороидальные спектрометры<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
537.533/.534
У 761

   
    Усовершенствование электронного тороидального спектрометра для растрового электронного микроскопа и его новые применения в диагностике структур микро- и наноэлектроники / А. В. Гостев [и др.] // Журнал технической физики. - 2013. - Т. 83, № 3. - С. 140-147. - Библиогр.: c. 147 (31 назв. ) . - ISSN 0044-4642
УДК
537.533/.534
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях
Кл.слова (ненормированные):
электронные тороидальные спектрометры -- тороидальные спектрометры -- спектрометры -- растровые электронные микроскопы -- электронные микроскопы -- электростатические тороидальные спектрометры -- сканирующие электронные микроскопы -- неразрушающая диагностика -- топологический контроль -- томография в обратно рассеянных электронах -- энергетическая фильтрация вторичных электронов -- мониторинг легированных кристаллов -- спектры электронов -- медленные вторичные электроны -- упругоотраженные электроны
Аннотация: Описана новая версия электростатического тороидального спектрометра электронов, инсталлированного в сканирующий электронный микроскоп. Прибор позволил провести научно-исследовательские и прикладные работы в области высоколокальной неразрушающей диагностики материалов и приборных структур микро- и наноэлектроники. Приведены примеры по топологическому контролю трехмерных микроструктур методом томографии в обратнорассеянных электронах. Показана высокая эффективность приема энергетической фильтрации вторичных электронов при мониторинге локально легированных участков примесями p- и n-типа в полупроводниковых кристаллах. Дано физическое обоснование высокого контраста изображений легированных областей. Продемонстрирована возможность измерения в сканирующем электронном микроскопе спектров электронов во всем энергетическом диапазоне от медленных вторичных до упругоотраженных.

Перейти: http://journals.ioffe.ru/jtf/2013/03/p140-147.pdf

Доп.точки доступа:
Гостев, А. В.; Орликовский, Н. А.; Рау, Э. И.; Трубицын, А. А.

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)