Библиотека Омского государственного университета им. Ф.М. Достоевского

Электронные ресурсы

Базы данных

Статьи из журналов: 2001-2014 - результаты поиска

Вид поиска

Электронный каталог

Статьи из журналов: 2001-2014

Труды ОмГУ

История ОмГУ

Сводный каталог периодических изданий вузовских библиотек г.Омска

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=нанокристаллические структуры<.>)

Общее количество найденных документов : 18
Показаны документы с 1 по 18

Вид документа : прочееСтатья из журнала
Шифр издания : 620.1/.2/Л 971
Автор(ы) : Лякишев Н.П.,
Заглавие : Нанокристаллические структуры - новое направление развития конструкционных материалов / Н.П. Лякишев
Место публикации : Вестник Российской академии наук. - 2003. - Т.73,N5. - ISSN 0869-5873. - ISSN 0869-5873
Примечания : Библиогр.:14 назв.
УДК : 620.1/.2
ББК : 30.3
Предметные рубрики: Техника-- Материаловедение
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): композиционные материалы--конструкционные материалы--материаловедение--нанокристаллические структуры
Аннотация: Разработка методов получения объемных (массивных) нанокристаллических заготовок с равномерной структурой по сечению заготовки,без пор,микротрещин и других дефектов структуры - актуальная задача,решение которой позволит расширить применение наноматериалов конструкционного назначения.
Найти похожие

Вид документа : прочееСтатья из журнала
Шифр издания : 539.4.016/П 162
Автор(ы) : Панин В. Е., Панин А. В.,
Заглавие : Проблемы мезомеханики прочности и пластичности наноструктурных материалов / В. Е. Панин, А. В. Панин
Место публикации : Известия вузов. Физика. - 2004. - N 8. - ISSN 0021-3411. - ISSN 0021-3411
Примечания : Библиогр.: с. 17 (24 назв. )
УДК : 539.4.016
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика-- Физика твердого тела
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мезомеханика--наноструктурные материалы--наноматериалы--физическая мезомеханика--нанокристаллические структуры--деформация--прочность--пластичность материалов
Аннотация: На основе обзора работ различных авторов сформулированы концептуальные положения физической мезомеханики наноструктурных материалов. Низкая пластичность наноматериалов обусловлена подавлением в них дислокационной деформации на микромасштабном уровне и развитием полос локализованной деформации на мезо- м макромасштабном уровнях. При оптимальном сочетании деформации на микро- и мезоуровнях создание нанокристаллической структуры обеспечивает высокие характеристики как прочности, так и пластичности материала. Макролокализация деформации всегда снижает прочность и пластичность наноматериалов.
Найти похожие

Вид документа : прочееСтатья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Макаров А. В., Коршунов Л. Г.,
Заглавие : Прочность и износостойкость нанокристаллических структур поверхностей трения сталей с мартенситной основой / А. В. Макаров, Л. Г. Коршунов
Место публикации : Известия вузов. Физика. - 2004. - N 8. - ISSN 0021-3411. - ISSN 0021-3411
Примечания : Библиогр.: с. 79-80 (32 назв. )
УДК : 669.14:621.785:620.178
ББК : 34.3
Предметные рубрики: Машиностроение-- Металлургия. Металлы и сплавы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокристаллические структуры--сплавы--трение--стали--мартенсит--износостойкость--нанокристаллический мартенсит
Аннотация: Рассмотрена роль нанокристаллического мартенсита в сопротивлении сталей адгезионному, абразивному и усталостному видам изнашивания. Показано отрицательное влияние воздушной окислительной среды на эффективную прочность и износостойкость НКС трения. Установлено повышенное сопротивление НКС трения высокоуглеродистой стали разупрочению при отпуске и фрикционном нагреве.
Найти похожие

Вид документа : прочееСтатья из журнала
Шифр издания : 669/К 666
Автор(ы) : Корзникова Г. Ф., Носкова Н. И., Корнева А. В., Корзников А. В.,
Заглавие : Механические и магнитные свойства магнитотвердых сплавов системы Fe-Cr-Co, подвергнутых интенсивной пластической деформации / Г. Ф. Корзникова, Н. И. Носкова, А. В. Корнева, А. В. Корзников
Место публикации : Физика металлов и металловедение. - 2004. - Т. 98, N 1. - ISSN 0015-3230. - ISSN 0015-3230
Примечания : Библиогр.: с. 127 (18 назв. )
УДК : 669
ББК : 34.3
Предметные рубрики: Машиностроение-- Металлургия. Металлы и сплавы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): магнитные свойства--механические свойства--пластическая деформация--сплавы--магнитотвердые сплавы--термообработка--нанокристаллические структуры--железо--хром--кобальт
Аннотация: Исследовано влияние деформации сдвигом под высоким гидростатическим давлением на механические и магнитные свойства магнитотвердых сплавов с различным исходным фазовым составом, который варьировался термообработкой и изменялся после деформации в нанокристаллическом состоянии.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.77.016/С 794
Автор(ы) : Степанов Ю. Н.,
Заглавие : Наноструктурирование поверхностного слоя с помощью ультразвуковой обработки / Ю. Н. Степанов
Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2008. - N 3. - С. С. 67-69. - ISSN 0015-3214. - ISSN 0015-3214
УДК : 621.77.016 + 621.78
ББК : 34.51/59 + 34.65
Предметные рубрики: Машиностроение
Обработка металлов
Упрочнение металлов
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ультразвуковая обработка--нанокристаллические структуры--просвечивающая электронная спектроскопия--металлические изделия--массивные металлические изделия--наноструктурирование--поверхностные слои материалов--нанокристаллические материалы--инструментальные стали--закаленные стали--штамповые стали--закаленные инструментальные штамповые стали
Аннотация: Рассмотрена возможность получения тонкой нанокристаллической структуры на поверхности массивных металлических изделий с помощью ультразвуковой обработки.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Имашев Р. Н., Мулюков Х. Я., Коледов В. В., Шавров В. Г.
Заглавие : Влияние структуры сплава Ni[2. 14]Mn[0. 18]Fe[0. 5]Ga на температурную зависимость намагниченности
Серия: Физика
Место публикации : Доклады Академии наук. - 2005. - Т. 400, N 3. - С.333-337. - ISSN 0869-5652. - ISSN 0869-5652
УДК : 539.2
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сплавы--пластические деформации--нанокристаллические структуры--сплавы гейслера--гейслера сплавы--намагниченность сплавов--мартенситные превращения
Аннотация: Цель работы заключалась в том, чтобы получить и исследовать НК-ферромагнитный сплав с памятью формы Ni[2. 14]Mn[0. 18]Fe[0. 05]Ga, провести поиск эффектов воздействия интенсивной пластической деформации на структурное превращение и магнитное упорядочение в этом материале, а затем изучить влияние последующего отжига как на магнитное упорядочение, так и на структурный (мартенситный) переход.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Хомская И. В., Зельдович В. И., Фролова Н. Ю., Шорохов Е. В., Жгилев И. Н., Хейфец А. Э.
Заглавие : Металлографическое и электронно-микроскопическое исследование структуры меди после динамического прессования
Серия: Ударные волны
Место публикации : Химическая физика. - 2007. - Т. 26, N 12. - С.64-68. - ISSN 0207-401Х. - ISSN 0207-401Х
Примечания : Библиогр.: c. 68 (9 назв. )
УДК : 620.1/.2
ББК : 30.3
Предметные рубрики: Техника
Материаловедение
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): деформация--прессование--медь--металлические материалы--металлы--нанокристаллические структуры--пластическая деформация--сплавы--ультрамелкозернистые материалы
Аннотация: Изучены структурные изменения в медных образцах, подвергнутых интенсивной пластической деформации с использованием техники ударного нагружения.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Абросимова Г. Е., Аронин А. С.
Заглавие : Влияние концентрации редкоземельного компонента на параметры наноструктуры в сплавах на основе алюминия
Серия: Металлы. Сверхпроводники
Место публикации : Физика твердого тела. - 2009. - Т. 51, вып: вып. 9. - С.1665-1671. - ISSN 0367-3294. - ISSN 0367-3294
Примечания : Библиогр.: с. 1670-1671 (25 назв. )
УДК : 539.2
ББК : 22.37
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алюминиевые сплавы--сплавы--рентгенография--редкоземельные металлы--нанокристаллические структуры--аморфные фазы--кристаллизации аморфных фаз--иттрий
Аннотация: Методами рентгенографии и просвечивающей электронной микроскопии исследовано влияние концентрации редкоземельного компонента на параметры нанокристаллической структуры, образующейся при кристаллизации аморфной фазы в сплавах Al[88]Ni[6]Y[6] и Al[88]Ni[10]Y[2]. Показано, что при увеличении концентрации иттрия размер нанокристаллов увеличивается, а доля нанокристаллической составляющей структуры уменьшается. Выделение нанокристаллов сопровождается расслоением аморфной матрицы на области с разным радиусом первой координационной сферы, что обусловлено обогащением или обеднением редкоземельным компонентом. Параметры нанокристаллической структуры свидетельствуют в пользу предположения о зарождении нанокристаллов по гетерогенному механизму.
Найти похожие

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Блаут-Блачев А. Н., Буйлов Л. Л., Золотаревский В. И., Соколина Г. А., Шапагин А. В., Спицын Б. В.
Заглавие : Алмазосодержание пленки с микро- и нанокристаллической структурой, выращенные из активируемой газовой фазы
Серия: Химия
Место публикации : Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2010. - Т. 53, вып: вып. 10. - С.59-64: 8 рис. - ISSN 0579-2991. - ISSN 0579-2991
Примечания : Библиогр.: с. 64 (9 назв. )
УДК : 544.22
ББК : 24.52
Предметные рубрики: Химия
Химия твердого тела
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): алмазосодержащие пленки--нанокристаллические алмазные пленки--синтез нанопленок--нанопленки--нанокристаллические структуры--газофазное осаждение--алмазные пленки
Аннотация: Из смеси метана и водорода химическим газофазным осаждением выращены алмазные пленки с микро- и наноструктурой. Для активации процесса использован аномальный тлеющий разряд постоянного тока. Пленки состоят из зерен с размерами меньше 50 нм. Сопротивление пленок составляет 10{6}-10{8} Ом.
Найти похожие

10.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 544/Б 191
Автор(ы) : Баканов В. И., Ларина Н. В.,
Заглавие : Электрохимическое формирование наноструктур: тонкие пленки висмута / В. И. Баканов, Н. В. Ларина
Серия: Химия
Место публикации : Известия вузов. Химия и химическая технология. - 2012. - Т. 55, вып. 5. - С. С. 59-62. - ISSN 0579-2991. - ISSN 0579-2991
Примечания : Библиогр.: с. 62 (15 назв.)
УДК : 544
ББК : 24.5
Предметные рубрики: Химия
Физическая химия в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): электроосаждение--нанокристаллические структуры--наноструктурные пленки--наноструктуры--пленки висмута--висмуты--тонкие пленки металлов--электрохимическое осаждение
Аннотация: Рассмотрены теоретические вопросы формирования тонких пленок металлов с нанокристаллической структурой. Приведены результаты исследования методом атомно-силовой микроскопии поверхности и структуры электрохимически осажденного Bi на медные подложки. Показана возможность получения блестящих пленок висмута с нанокристаллической структурой.
Найти похожие

11.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Фомин А. А., Штейнгауэр А. Б., Лясников В. Н., Вениг С. Б., Захаревич А. М.,
Заглавие : Нанокристаллическая структура поверхностного слоя гидроксиапатитовых покрытий, сформированных при плазменном напылении с предварительной индукционно-термической обработкой металлической основы / А. А. Фомин, А. Б. Штейнгауэр, В. Н. Лясников и др
Место публикации : Письма в "Журнал технической физики". - 2012. - Т. 38, вып. 10. - С. С. 64-69: ил. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116
Примечания : Библиогр.: с. 69 (3 назв.)
УДК : 539.21:534 + 536.42
ББК : 22.372. Таблицы для массовых библиотек + 22.375
Предметные рубрики: Физика
Механические и акустические свойства монокристаллов
Термодинамика твердых тел
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гидроксиапатитовые покрытия--биосовместимые покрытия--поверхностные слои--нанокристаллические структуры--плазменное напыление--металлические материалы--металлические изделия--индукционно-термическая обработка--предварительная обработка--исследования--имплантаты--внутрикостные имплантаты--морфологическая гетерогенность--показатели гетерогенности--электронная микроскопия--растровая электронная микроскопия--изображения--обработка изображений--программная обработка--токи высокой частоты--температуры--предварительный нагрев--титановые основы
Аннотация: В ходе исследований получены биосовместимые гидроксиапатитовые покрытия внутрикостных имплантатов со средним диаметром зерен от 10 до 30 nm и повышенными показателями морфологической гетерогенности за счет применения индукционно-термической обработки изделий перед плазменным напылением. На основании результатов растровой электронной микроскопии и программной обработки изображений покрытий установлена зависимость их среднего диаметра зерен от температуры предварительного нагрева токами высокой частоты титановой основы.
Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2012/10/p64-69.pdf
Найти похожие

12.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 539.2/А 168
Автор(ы) : Абросимова Г. Е.,
Заглавие : Эволюция структуры аморфных сплавов / Г. Е. Абросимова
Серия: Обзоры актуальных проблем
Место публикации : Успехи физических наук. - 2011. - Т. 181, № 12. - С. С. 1265-1281: 19 рис. - ISSN 0042-1294. - ISSN 0042-1294
Примечания : Библиогр.: с. 1280-1281 (91 назв. )
ГРНТИ : 29.19.22
УДК : 539.2
ББК : 22.37. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): аморфные сплавы--металлические стекла--металлические сплавы--магнитные свойства--кристаллизация--аморфное состояние--нанокристаллические структуры--нагрев--деформации--облучение
Аннотация: В обзоре представлено современное состояние исследований эволюции структуры аморфных сплавов, или металлических стекол, от исходного аморфного состояния до полностью кристаллического. Рассмотрены изменения структуры, происходящие при нагреве, деформации, облучении.
Найти похожие

13.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.77.016/Э 455
Автор(ы) : Овчаренко В. Е., Иванов Ю. Ф., Колубаева Ю. А., Боянгин Е. Н., Тересов А. Д., Лапшин О. В.,
Заглавие : Электронно-пучковая модификация структуры поверхностного слоя интерметаллического соединения Ni[3]Al / В. Е. Овчаренко, Ю. Ф. Иванов, Ю. А. Колубаева и др
Серия: Функциональные покрытия и обработка поверхности
Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 4. - С. С. 44-52. - ISSN 0015-3214. - ISSN 0015-3214
УДК : 621.77.016
ББК : 34.51/59. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Машиностроение
Обработка металлов
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интерметаллиды--электронно-пучковая обработка--субструктуры--нанокристаллические структуры--плавление--импульсное электронное облучение--облучение--нагрев--интерметаллические соединения
Аннотация: На основании количественных расчетов температурных полей в интерметаллическом соединении Ni[3]Al при импульсной электронно-пучковой обработке определены параметры облучения, обеспечивающие нагрев поверхностного слоя на глубину до 50 мкм до температур, превышающих температуру плавления. Показано, что при определенных режимах импульсного электронного облучения в условиях направленной кристаллизации происходит формирование субмикро- и нанокристаллической структуры поверхностного слоя. Продемонстрирована возможность контролируемого изменения фазового состава поверхностного слоя интерметаллида методом электронно-пучковой обработки.
Найти похожие

14.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 621.77.016/В 586
Автор(ы) : Панин А. В., Перевалова О. Б., Синякова Е. А., Почивалов Ю. И., Леонтьева-Смирнова М. В., Чернов В. М.,
Заглавие : Влияние ультразвуковой обработки на эволюцию микроструктуры ферритно-мартенситной стали в процессе механического нагружения: зона однородной деформации / А. В. Панин, О. Б. Перевалова, Е. А. Синякова и др
Серия: Новые методы обработки и получения материалов с заданными свойствами
Место публикации : Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 4. - С. С. 83-92. - ISSN 0015-3214. - ISSN 0015-3214
УДК : 621.77.016
ББК : 34.51/59. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Машиностроение
Обработка металлов
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ферритно-мартенситные стали--деформация--ультразвуковая обработка--рентгеноструктурный анализ--просвечивающая электронная микроскопия--одноосное растяжение--закалка--старение сталей--нанокристаллические структуры
Аннотация: Методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгеноструктурного анализа исследована эволюция микроструктуры ферритно-мартенситной стали ЭК-181 в процессе одноосного растяжения при комнатной температуре после закалки и старения, а также промежуточной ультразвуковой обработки. Показано, что при механическом нагружении в стали происходит образование изотропных дислокационных фрагментов в рейках пакетного мартенсита и анизотропных ферритных зерен с мигрирующими границами. При пластической деформации образцов, подвергнутых промежуточной ультразвуковой обработке, происходит превращение нанокристаллической структуры альфа-фазы и структуры пакетного мартенсита в ферритную структуру с размером зерен до 1 мкм.
Найти похожие

15.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 669.715/Б 448
Автор(ы) : Беляков А. Н.,
Заглавие : Фрагментация микроструктуры сплава Fe-O в результате интенсивной пластической деформации / А. Н. Беляков
Место публикации : Известия РАН. Серия физическая. - 2008. - Т. 72, N 9. - С. С. 1344-1347: рис. - ISSN 0367-6765. - ISSN 0367-6765
Примечания : Библиогр.: c. 1347 (21 назв. )
УДК : 669.715
ББК : 34.23/25. LBC/PL
Предметные рубрики: Технология металлов
Металловедение цветных металлов и сплавов
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): сплавы--сплав fe-o--шаровая мельница--субмикрокристаллические структуры--механическое дробление--интенсивная пластическая деформация--нанокристаллические структуры
Аннотация: В работе рассмотрена эволюция микроструктуры в сплаве Fe-O в процессе механического дробления в шаровой мельнице.
Найти похожие

16.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 539.2/В 586
Автор(ы) : Хисамов Р. Х., Юмагузин Ю. М., Мулюков Р. Р., Назаров К. С., Салимов И. М., Сафаров И. М., Зубаиров Л. Р.,
Заглавие : Влияние нанокристаллической структуры на ионно-электронную эмиссию сплава Al+6% Mg / Р. Х. Хисамов, Ю. М. Юмагузин, Р. Р. Мулюков и др
Место публикации : Письма в "Журнал технической физики". - 2013. - Т. 39, вып. 5. - С. С. 76-81: ил. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116
Примечания : Библиогр.: с. 80-81 (13 назв.)
УДК : 539.2
ББК : 22.37. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанокристаллы--нанокристаллические структуры--электронная эмиссия--ионная эмиссия--алюминиевые сплавы--сплавы алюминия--деформационные методы--кручение--квазигидростатическое давление--коэффициент эмиссии--нанокристаллические образцы--электронная структура--крупнокристаллические структуры--выход электронов--выходная мощность
Аннотация: Исследована ионно-электронная эмиссия нанокристаллического алюминиевого сплава Al+6% Mg. Нанокристаллическая структура в сплаве была получена деформационным методом кручения под квазигидростатическим давлением. Установлено, что коэффициент ионно-электронной эмиссии для нанокристаллического образца сплава имеет повышенные значения по сравнению с крупнокристаллическим образцом. Повышение коэффициента обусловлено изменением электронной структуры металлов при их деформации. В частности, показано, что величина работы выхода электрона для сплава Al+6% Mg с нанокристаллической структурой имеет пониженное на 0. 4 eV значение по сравнению с крупнокристаллической структурой.
Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2013/05/p76-81.pdf
Найти похожие

17.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 539.2/Н 254
Автор(ы) : Фомин А. А., Штейнгауэр А. Б., Родионов И. В., Фомина М. А., Захаревич А. М.,
Заглавие : Нанокристаллическая структура поверхностного слоя технически чистого титана, подвергнутого индукционно-термическому оксидированию / А. А. Фомин, А. Б. Штейнгауэр, И. В. Родионов и др
Место публикации : Письма в "Журнал технической физики". - 2013. - Т. 39, вып. 21. - С. С. 70-75: ил. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116
Примечания : Библиогр.: с. 75 (4 назв.)
УДК : 539.2
ББК : 22.37. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Физика
Физика твердого тела. Кристаллография в целом
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): титан--поверхностные слои--нанокристаллические структуры--индукционные методы--термическое оксидирование--металлооксидные покрытия--формы кристаллов--морфология поверхности
Аннотация: Получены металлооксидные покрытия на гладкой поверхности технически чистого титана, характеризуемые пластинчатой, игольчатой и призматической формой кристаллов. Определены закономерности изменения нанометровых показателей морфологии поверхности титана, подвергнутого индукционно-термическому оксидированию.
Перейти: http://journals.ioffe.ru/pjtf/2013/21/p70-75.pdf
Найти похожие

18.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания : 536.42/К 825
Автор(ы) : Тысченко И. Е., Володин В. А., Фельсков М., Черков А. Г., Попов В. П.,
Заглавие : Кристаллизация пленок кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода, под действием термических миллисекундных импульсов / И. Е. Тысченко, В. А. Володин, М. Фельсков и др
Серия: Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Место публикации : Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47, вып. 5. - С. С. 591-597: ил. - ISSN 0015-3222. - ISSN 0015-3222
Примечания : Библиогр.: с. 596 (19 назв.)
УДК : 536.42
ББК : 22.375. Таблицы для массовых библиотек
Предметные рубрики: Физика
Термодинамика твердых тел
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки--кристаллизация--имплантация--кремний-на-изоляторе--ионы водорода--термические импульсы--импульсные режимы--отжиг--трехфазные структуры--нанокристаллы--кремний--нанокристаллические структуры--миллисекундные процессы--атомарный водород--диффузия
Аннотация: Исследована кристаллизация пленок кремний-на-изоляторе, имплантированных большими дозами ионов водорода, под действием импульсного миллисекундного отжига. Сразу после имплантации ионов водорода обнаружено формирование трехфазной структуры, состоящей из нанокристаллов кремния, аморфного кремния и водородных пузырей. Показано, что при импульсном отжиге нанокристалическая структура пленок сохраняется вплоть до температуры приблизительно 1000 °С. С ростом температуры миллисекундного отжига размеры нанокристаллов увеличиваются от 2 до 5 нм, а доля нанокристаллической фазы возрастает до приблизительно 70%. Из анализа энергии активации роста кристаллической фазы сделано предположение о том, что процесс кристаллизации пленок кремния с большим (приблизительно 50 ат%) содержанием водорода лимитирован диффузией атомарного водорода.Crystallization of the silicon-on-insulator films implanted with high dose of hydrogen ions was investigated under pulse millisecond annealing. Three-phase structure, consisted of the silicon nanocrystals, amorphous silicon, and hydrogen bubbles, was observed from the as-implanted samples. It was shown that the nanocrystal structure of the films is remained under pulse annealing up to 1000 °С. As pulse annealing temperature grown, the nanocrystal diameter increased from 2 to 5 nm, and the nanocrystal fraction rose to 70%. From the analysis of the crystalline-phase growth activation energy, it was speculated about the atomic hydrogen diffusion as limiting factor of the crystallization of the highly-hydrogenated (rose to 50 at%) silicon films.
Перейти: http://journals.ioffe.ru/ftp/2013/05/p591-597.pdf
Найти похожие

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)